中古 CARL ZEISS / HSEB MIT300 #293639397 を販売中

CARL ZEISS/HSEB MIT300マスク&ウェーハ検査装置は、欠陥検出用に特別に設計された最先端のシステムです。HSEB MIT300は、素早くスキャンする光学適応ユニットを使用して、比類のない精度と平坦性の比較で、最も微小な欠陥を検出することができます。このマシンは16メガピクセルのヘッドを内蔵しており、最大フレームレート5000フレーム/秒で撮影したショットをキャプチャするため、高速スキャンアプリケーションに適しています。カメラはまた、8。3 µmのピクセルサイズと72 dBのダイナミックレンジを含んでいます。さらに、このツールはイントラリソグラフィとオーバーレイ測定を提供する能力を備えており、最高レベルのウェーハ生産均一性測定を提供します。アセットには、フルフレームの視野を持つ平面位相光学系からなる4インチ独自の光学モデルも含まれています。また、高度な画像解析アルゴリズムが搭載されているため、マスク欠陥とウェーハ欠陥の両方を確実かつ迅速に検査できます。さらに、X/Yステージシステムを内蔵しており、スキャン現場でのウェーハの迅速かつ簡単な位置決めと検査が可能です。さらに、堅牢な機械化ステージにより、外部からの環境振動を受けにくく、市場の他のシステムと比較してスキャンの精度が向上します。最大の生産性を確保するために、マスクとウェーハ検査の特定のニーズに合わせた直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスソフトウェアを搭載しています。このソフトウェアには、DICE画像の強化、サブミクロンのオーバーレイ測定、パスまたはフェイル分類のためのカスタマイズ可能なリミットパスなど、一連の欠陥解析およびレビューツールが組み込まれています。さらに、欠陥の自動識別、アルゴリズムによる欠陥検出、誤った欠陥認識など、リアルタイムのウェーハ解析および欠陥検査機能を提供します。このツールはISOおよびSEMI規格に準拠しており、ウェーハやマスクを穏やかに取り扱うことができます。また、低消費電力で環境に配慮した運用を行っています。ASMLおよび193iスキャンシステム用の光学ヘッド、オプションの自動レポートファイリング、カスタムビルドのソフトウェアソリューションなど、幅広いオプションとハードウェアが付属しています。全体として、CARL ZEISS MIT300マスク&ウェーハ検査モデルは、最先端の検査機能を提供するハイエンド機器です。その高度な光学システム、組み込みソフトウェア、数多くの追加オプションにより、欠陥検出に関して今日の厳しい要件を満たすための理想的な選択肢となります。