中古 CARL ZEISS / HSEB Axiospect 300 #9397355 を販売中

CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300は、半導体デバイスの高解像度イメージング、測定、解析に使用される高度な自動マスクおよびウェーハ検査装置です。マルチリフレクションオプティクスと高性能センサーのユニークな組み合わせが特徴で、マスクやウェーハを構成する複雑なパターンを詳細かつ正確に検査できます。このシステムには、0。5の高い数値開口（NA）を備えた統合された光輸送ユニットが含まれており、さまざまなサイズのウェーハに対応するために使用できるモジュール式ズームを備えています。HSEBは0。2mmから1。2mmまで変化する視野を提供し、0。5 μ mまでの最小構造物をキャプチャして測定することができます。brightfieldとdarkfieldの両方のイメージングが可能で、マルチサイトスキャン用の自動ステージが装備されています。CARL ZEISSのイメージングサブシステムは、12ビットのダイナミックレンジで画像をキャプチャする高解像度CCDカメラを採用しています。フラット蛍光灯、モノクロメータ、統合レーザーダイオードで構成された洗練された光源を備えています。この光源は、4つの異なる励起波長を持つ多波長イメージングだけでなく、マルチチャンネル画像を作成するために使用されます。このマシンは、フーリエ変換、バイナリフィルター、形態フィルタ、画像セグメンテーションなど、さまざまな画像処理ツールを提供しています。これらの機能により、粒子欠陥、線、またはウェーハ上の1つの層の欠陥、さらには2つの層の間の欠陥を含む妨害された画像などの特徴を容易に区別できます。CARL ZEISS/HSEBは、線幅測定、オーバーレイ計算、アスペクト比の評価など、幅広い柔軟な測定オプションを提供します。また、検査プロセスを合理化する自動欠陥分類器とレビューステーションを備えています。最後に、統合されたデータベースにより、将来の分析のために結果を自動的に保存することができます。全体的に、HSEB Axiospect 300は、高解像度イメージング、測定、高度な画像解析を組み合わせた高度で汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査ツールです。半導体デバイスの検査、研究開発に最適です。