中古 CARL ZEISS / HSEB Axiospect 300 #9397354 を販売中

CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300は、マスクおよびウェーハ製造の製造段階と梱包段階の両方の欠陥を検出するために設計された洗練されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、トップダウンとボトムアップの両方の検査方法を使用して、欠陥検出を最大限に高め、比類のない精度レベルで、最大300nmの欠陥分解能を備えています。HSEB Axiospect 300のユニークなデザインは、ラボスケールと大量生産の両方にシームレスに適応します。optomechanicalロードポートと、ミスアライメントと基板平坦度（+/-2 μ m）補正機能を備えたエレベーターで専門的に構築されています。この画期的なユニットは、200mmと300mmの両方のウェーハで、最も困難な環境でも堅牢であることが証明されています。CARL ZEISS Axiospect 300は、高性能オプティクスを使用しています。信号対雑音比を最適化した450視野（FOV）レンズマシン、精密計測・欠陥検出用の5軸ステージ、および自動欠陥分類を可能にするデジタル信号処理（DSP）ツールを備えています。Axiospect 300は、マスクとウェハーパネルの高度な検査と修復のための専用計測版を備えています。手作業による調整に要する時間を短縮し、検査の精度を高めるオートフォーカス資産「Teach-and-Learn」を搭載しています。「ライブプレビュー」機能は、精度アラインメントをさらに強化し、迅速な欠陥認識を容易にします。さらに、このモデルは自動欠陥修復ツールを使用して、定義された欠陥を効率的に除去します。ウェーハ検査に最適化された強力な画像解析アルゴリズムにより、ほぼすべてのタイプの欠陥を自動的に修正できます。さらに、CARL ZEISS/HSEB Axiospect 300は、半導体ウェーハ全体を検査し、ASMLおよびEビームリソグラフィーシステムの両方に対応する高度なソフトウェアで構築されています。HSEB Axiospect 300は、マスクおよびウェーハ製造のさまざまな製造および計測段階において、迅速かつ正確な欠陥検出と修復を容易にする完全で強化されたイメージングソリューションです。優れた機能を備えたCARL ZEISS Axiospect 300は、世界中のマスクおよびウェーハ製造および生産工場に理想的な選択肢です。