中古 BRUKER InSight 3D-DR #9293797 を販売中

BRUKER InSight 3D-DRは、集積回路のインライン、非破壊的な3D解析用に設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。光学法とX線法を組み合わせて、半導体パターンやサンプルの寸法、地形、欠陥パラメータを約0。6 µmの精度で測定します。マスク、ウェーハ、プリント基板など、幅広いサンプルをシングルウエハとデュアルウエハで検査することができます。光学ベースのスキャン技術は、非常に高い機能密度であっても、高い感度と精度で欠陥を検出する能力を持っています。また、サイドウォール角度とトランジスタ電流漏れの両方について包括的なフィードバックを提供し、メーカーとエンジニアが自信を持って作業できるようにします。InSight 3D-DRは、迅速で簡単なセットアップとインストゥルメント制御を可能にする強力なユーザーインターフェイスを備えています。一連のスキャンオプションを使用して、ユーザーは要件に基づいてオブジェクトを測定するための適切なパラメータを選択できます。これには、フィーチャーサイズ、平面角度、アンダーカット、面粗さなどの測定が含まれます。また、異なる種類のサンプルのイメージングパラメータを自動最適化し、誤検出を低減する欠陥検出機能も備えています。イメージングに関しては、高解像度のソリッドステートデジタルカメラを使用して、最も複雑なパターンでも検査します。また、ハイコントラストと比類のない解像度の両方で画像をキャプチャするために、動的HDRイメージングで実装することもできます。データは、ローカルまたはリモートでアクセスできる内部ハードドライブに書き込まれます。ユーザーは画像やデータをすばやく簡単にエクスポートできます。このツールはまた、既存のシステムとの互換性を確保するために、DXFやPDFを含むいくつかの一般的なファイル形式にアクセスすることができます。結論として、BRUKER InSight 3D-DRは、比類のない精度、高速な画像取得、および自動最適化を提供するマスクおよびウェーハ検査用の高度で汎用性の高いソリューションです。シングルウェーハとデュアルウェーハの両方を同時に検査できるため、迅速な納期と正確な結果が必要な大規模プロジェクトに最適です。