中古 BROWN & SHARPE 4.5.4 SF #9286760 を販売中
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ID: 9286760
Coordinate Measuring Machine (CMM)
Envelope size: 700 x 1000 x 700 mm
Accuracy: 3.0+3.01/1000.
BROWN&SHARPE 4。5。4 SFは、生産マスクおよびウェーハの欠陥を迅速かつ正確に検出するために設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。複数の技術を使用してICウェーハとマスクの両面を迅速に検査し、ダイツダイ、エリアベクトルマッピング、両面ステンシル印刷、スルーホール断面解析などを行います。このシステムにより、1人の技術者が複数の機能を同時に実行でき、さまざまな製品要件に簡単に適応できます。ユニットの両面ステンシル印刷機能は、元の設計パターンと実際のマスクに積み重ねられたものの違いを自動的に検出します。この情報は、マスクの物理的特性を検証するために使用されます。マスクホルダーには、ポリウレタンの両面ラミネートとアクリルの染料を使用し、均一なマスクを形成します。その後、マスクに存在する欠陥を特定することができます。ウェハ検査には、エリアベクトルマッピング技術を使用しています。この技術は、ウェーハの両側にダイツダイのデータを自動マッピングすることを可能にします。ウェーハの各側の描画はマッピングデータに基づいており、主にウェーハの欠陥を検出するために使用されます。アセットのスルーホール断面解析機能は、微細な画像を使用して、ウェーハの接触指間の相互接続ギャップの欠陥を検索します。カメラを使用して各接触指をスキャンし、ギャップ幅を測定して小さな欠陥を検出します。BROWN&SHARPE 4。5。4 SFモデルは、従来のシステムのほんの一部の時間でウェーハおよびマスク検査を行うことができます。これは、迅速なセットアップと操作のために設計されており、単一の技術者が同時に複数の機能を操作することができます。さらに、装置は様々なプロセス要件に対応するために簡単に調整できます。これにより、マスクやウェーハの検査を行う際に時間を節約し、信頼性を高めることができます。
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