中古 BROOKS AUTOMATION Zaris #9257397 を販売中

BROOKS AUTOMATION Zarisは、BROOKS AUTOMATIONのマスクおよびウェーハ検査装置です。マスクやウエハーの製造工程におけるあらゆる欠陥や汚染物質を検査する完全自動化システムです。このユニットは、ミッションクリティカルな意思決定に必要な可視性と信頼性を提供するために、最小の欠陥でも正確に検出およびローカライズします。このマシンは、高スループット、高感度の自動検査を提供するように設計されています。最大4つのウェーハサイズと12のマスクサイズで、さまざまなマスクとウェーハサイズを検査することができます。このツールには、ATR（自動ターゲット認識）とSEC（確率エッジ比較）の2つの検査ヘッドオプションがあります。ATRは複雑な欠陥検出とローカライズに使用され、SECは細かい欠陥検査と偽陰性の最小化に使用されます。Zarisはイメージキャプチャ、分析、レビュー機能を備えています。製品ごとにカスタマイズされた専用の検査アルゴリズムを使用して、デバイスの性能、歩留まり、信頼性に影響を与える可能性のある非表示の欠陥を正確に検査します。また、高度な画像処理アルゴリズムを使用して欠陥検出を改善し、誤検出を低減します。独自の自動機械学習機能により、画像キャプチャと測定ウィンドウサイズを最適化し、マスクまたはウェハの表面全体で正確な測定を保証します。検査結果は、ユーザーがデータをすばやく評価するためのさまざまな形式で表示されます。BROOKS AUTOMATION Zarisはまた、表面地形情報と詳細な欠陥マップの3D視覚化を提供します。直感的なユーザーコントロールにより、セットアップは迅速かつ簡単であり、モデルは自動的な品質管理を可能にします。また、高い機器安定性と反復可能な性能を提供し、一貫した結果を保証します。Zarisは、複雑な欠陥を迅速に検査、ローカライズ、および確実に特徴付ける能力を顧客に提供する主要なマスクおよびウェーハ検査システムです。高度なイメージング機能と自動解析機能を備えており、あらゆる品質管理ニーズに最適です。BROOKS AUTOMATIONザリスユニットは、高性能で自動化された検査を提供することで、ミッションクリティカルな意思決定に必要な可視性と信頼性を提供します。