中古 BROOKS AUTOMATION BL-200 #9079943 を販売中

BROOKS AUTOMATION BL-200は、シングルダイおよびマルチダイの検査機能を提供する次世代のマスクおよびウェハ検査装置です。この自動検査システムは、半導体製造工程のマスクおよびウェハステージの初期設定、設計検証、プロセス参照チェックに最適です。高感度の2D検査原理を備え、マルチラインレーザーセンサーを使用して最小の粒子や欠陥を検出します。これらのレーザーは、デバイスの前面と背面の両方に取り付けられ、上下のカバレッジを提供します。機械に追加のLED光源を追加して、傷やその他の疲労機能などの非光学的欠陥の検出を改善することができます。また、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイス、自動モデルキャリブレーション機能、WebベースのGUIによる遠隔操作機能など、資産のセットアップと操作を容易にする幅広い機能を備えています。このGUIにより、検査結果、入力、設定などの重要な機器情報に簡単にアクセスできます。BL-200システムはあらゆる方向およびあらゆる表面に取付けることができます。多用性のある真空およびポートフォーマットの範囲は完全な適合を保障し、異なった点検場所の間で単位をすぐに動かすことを可能にします。このマシンには強力な画像処理エンジンが搭載されており、1回のスキャンで複数のダイを正確かつ迅速に検査することができます。表面汚染物質、バリ、傷など、さまざまな欠陥を特定できます。また、ピンの欠陥やエッジの異常、ショーツや開閉などの電子的欠陥も検出できます。BROOKS AUTOMATION BL-200ツールは、中核的な検査機能に加えて、複雑な欠陥を特定して分類する高度な欠陥解析も提供しています。統合された光学散乱解析モジュール。特定のダイの分離またはクラスタ化された欠陥を迅速に識別します。既知のパターンや線を検出して測定するパターンマッチング機能。高度な機能と信頼性の高い性能を兼ね備えたBL-200マスクとウェーハ検査アセットは、今日の半導体メーカーのニーズに最適です。最高レベルの製品品質を保証するために、最高速度、最適な精度、一貫したパフォーマンスを提供します。