中古 BROOKS AUTOMATION 3L #9197117 を販売中

BROOKS AUTOMATION 3Lは、半導体ウェーハ製造環境での使用を目的とした完全自動ウェーハおよびマスク検査装置です。このシステムは、最先端の画像解析技術を使用して、ウェーハパターンやマスクの欠陥を検査する高解像度ウェーハパターン認識プラットフォームです。このユニットは、精密光学アライメント用の高度なデュアル波長Renishawレーザー干渉計を備えています。これにより、各ウェーハが正確にスキャンされ、キャプチャされたイメージがウェーハパターン全体のデータポイントに対して正しく方向づけられます。また、デュアル波長レーザーは、エラーを最小限に抑え、欠陥検出と解析の精度を最大限に高めます。3Lマシンは最新のパターン認識ソフトウェアを使用しており、ウェーハパターンの微妙な変化を検出することができます。さらに、傷、ピット、空隙、粒子など、さまざまな欠陥を検出することができます。このアセットには、さまざまな画像解析ツールがあり、ユーザーは重要な欠陥検出および分析タスクを実行できます。BROOKS AUTOMATION 3Lモデルは、高度なエッジ検出アルゴリズムを使用してエッジを正確に検出し、画像処理アルゴリズムを使用してウェーハパターンの超高解像度の画像を生成します。独自のソフトウェアアルゴリズムにより、複雑なウェーハパターンでも、パーティクルやボイドなどの欠陥を検出できます。このシステムには、高度なイメージング機能に加えて、一連の高度なデータ分析ツールも含まれています。このスイートを使用すると、さまざまな種類の欠陥を検出および分析し、プロセスのバリエーションを分析できます。このユニットはまた、アーカイブされたデータの包括的なデータベースを提供しており、ユーザーは潜在的なプロセスのバリエーションを迅速かつ正確に特定して評価することができます。要するに、3Lは半導体製造環境で使用するために設計された高性能ウェーハおよびマスク検査機です。このツールは、高度な光学アライメント技術、パターン認識、画像処理機能、欠陥検出および解析アルゴリズム、およびアーカイブされたデータの包括的なデータベースを備えています。そのため、このアセットは高精度で信頼性の高い結果を提供し、ユーザーは潜在的なプロセス変動をすばやく特定して対処することができます。