中古 ATI AVIS-5000N #293590750 を販売中

ATI AVIS-5000Nは、半導体製造設備のために設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、リソグラフィ、電気、オーバーレイ、TEM（透過電子顕微鏡）検査など、さまざまなウェハ検査タスクを実行することができます。ウェーハ検査ヘッドをウェーハ表面全体に移動させることができる5軸ロボットモーターマシンを中心に構成されています。このツールは、微細な欠陥の検出を可能にする、サブピクセル精度を達成することができます。AVIS-5000Nは、視覚技術とタッチセンサー技術の両方を利用して、さまざまな欠陥を検出します。ビジョンテクノロジーにより、余分なラインや欠落したラインなどのマスキングエラーや、ウェーハ表面上のオブジェクトが正確に配置または整列されていないオーバーレイエラーを識別できます。このアセットは、ブリッジ、ショーツ、電気接点の開口部、結晶構造の非均一性を検出することもできます。これらの欠陥はすべてリアルタイムで検出できるため、ウェーハ全体を分解することなくウェーハ検査を完了できます。ATI AVIS-5000Nは、ウェーハ検査を迅速かつ容易にするさまざまな機能をユーザーに提供します。これらには、完全に自動化されたマスキング/アンマスキングプロセスと、ウェーハのロボット段階への自動アライメントが含まれます。これにより、より大きく、より複雑なウェーハを検査するプロセスがはるかにスムーズになります。さらに、このモデルは人間工学に基づいた制御コンソールを備えており、オペレータは検査設定を素早く調整することができます。AVIS-5000Nは、包括的なウエハ検査ソリューションを必要とする半導体メーカーにとって理想的な機器です。ATI AVIS-5000Nは、さまざまな機能と技術を備えており、ウェーハの欠陥を特定して修正するための信頼性の高い効率的なソリューションを提供しています。また、高度な安全・環境対策により、安全でクリーンなウエハ検査環境を提供します。このシステムは、中小規模の製造施設に適しており、生産ラインの欠陥を特定するための費用対効果の高い効率的な方法を提供します。