中古 ASM TLB 139 #9362813 を販売中

ASM TLB 139は、マスクおよびウェーハ表面の自動、高速パターンジオメトリ、欠陥特性評価、金属分析用に設計された汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、単一点から線形欠陥、および2Dおよび3Dパターンジオメトリの両方の欠陥特性の完全なプロファイルを生成することができます。TLB 139はまた、マスクおよびレチクル検査用の専用ソフトウェアパッケージ、パターン構造解析、CD/OCD測定、リップル解析など、パターン解析のための幅広い自動化された機能を提供します。ASM TLB 139の本体は、最新の高精度光学技術と高解像度の2段チャージカップデバイス（CCD）カメラを組み合わせて使用し、各検査の解像度と倍率能力の両方で非常に高いレベルの詳細と精度を可能にします。各特徴のための適切な拡大そして焦点レベルの選択は最先端の5軸電動ステージユニットの使用によって達成されます。このプロセスにより、各検査機能の最適な品質と精度が得られます。TLB 139には、薄暗い欠陥と強力な欠陥とホットスポットの両方を正確に自動分類できる自動欠陥認識マシンも装備されています。この自動化機能には、曲率、コントラスト、対称性、サイズなどの幅広い機能記述子が含まれます。これらの記述子を使用することで、このツールは既存の構造の周期的な欠陥を区別して特徴付けることができ、シフト、不整列、および壊れたパターンの存在を評価することができます。ASM TLB 139には、事前定義されたパラメータとユーザー定義のカスタム設定の両方に対応する包括的なデータベースアセットも含まれています。すべてのパラメータは、モデルのメモリに設定および保存され、マスクおよびウェーハ検査を自動化するためのプリセットモードが包括的に選択されています。また、マスクやウエハーの被覆部と被覆部の両方において、金、アルミニウム、銅などのさまざまな金属層を正確かつ信頼性の高い検査が可能であり、完全なマスクまたはウェハデータ分析およびレポート機能を備えています。全体として、TLB 139は非常に汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査システムであり、最新の高精度オプティクスと高度な自動機能を備えており、基本機能と複雑な機能の両方をスムーズかつ信頼性の高い検査が可能です。強力でユーザーフレンドリーな機能を備えたASM TLB 139は、高速パターン検査と欠陥特性評価のための効率的で包括的なソリューションを提供します。