中古 ASM TIB 139 #9299596 を販売中

ASM TIB 139は、半導体マスクおよびウェーハの半自動検査用に設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。5メガピクセルのCCDデジタルカメラとナノメートルサイズの3Dイメージングを組み合わせたシステムで、自動化されたステージユニットとマスクとウェーハ照明機を備えています。これにより、製造中にマスクまたはウェーハ上の表面欠陥、粒子、および傷を検出することができます。このアセットには、カメラと照明モデルを商品化して調整し、正確な画像を取得する機能もあります。TIB 139は、接触および非接触検査、ウェーハ座標へのマスクのアライメント、ウェーハIDおよびシリアル番号のダイマッピングなど、さまざまな機能に使用できます。検査作業を自動化し、手作業の削減による生産性の向上を図っています。さらに、システムは、不良マスクやウェーハを自動的に認識して拒否するようにプログラムすることができます。ASM TIB 139は、ディープUV （DUV）リソグラフィ、フォトレジスト、およびその他のコーティングプロセスを含むさまざまな半導体プロセスを検査するために使用できます。このユニットは、異なるウェーハおよびマスク形式で校正することができ、異なる露出線量と焦点深度の自動校正が可能です。さらに、製造中の視覚的欠陥の調査や、サブ目に見える粒子による汚染の確認にも使用できます。TIB 139は容易な維持管理のために設計されています。このツールには大きなタッチスクリーンモニターが装備されており、ユーザーは素早く簡単に資産をナビゲートして制御できます。さらに、このモデルには手動モードと自動モードの両方が含まれ、検査データを記録および追跡できる包括的なデータロギング機器も含まれています。ASM TIB 139は、半導体マスクとウェーハを検査する便利で直感的な方法です。このシステムは、生産量と効率を向上させ、必要な手作業を削減するように設計されています。その自動検査機能により、ユーザーは表面の欠陥、粒子、および傷を迅速かつ正確に検出することができ、製品の品質を保証するのに役立ちます。