中古 ASM TIB 139 #9299463 を販売中

ASM TIB 139は、ASM Technologyによって設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。半導体製造工程でのマスクやウエハーの迅速かつ正確な検査が可能です。TIB 139ユニットは、自動検査ステーションと関連するモニターベースのソフトウェアで構成されています。この自動検査ステーションは、マスクまたはウェーハ上の重要寸法を測定するための実証済みのインラインマシンと、正確で迅速なイメージングのための多軸モーションツールを使用しています。モニターベースのソフトウェアは、取得した画像を取得、操作、分析、保存するために使用されます。ASM TIB 139アセットは、マスクやウェーハの幅広い欠陥を検出することができます。画像をあらかじめ定義されたマスクまたはウェーハのデザインと比較し、欠落している要素、形状、パターン、オーバーレイ登録のバリエーションなど、存在する可能性のある欠陥をフラグ付けすることができます。また、粒子、空隙、ピンホール、粒子などの汚染も検出できます。TIB 139装置は、酸化アルミニウム、シリコン、ステンレス、石英など、さまざまな材料をイメージングすることができます。また、サブミクロンの精度で、単一のマスクまたはウェーハの表面の複数のレベルを検査してイメージすることもできます。また、高品位の真空ユニットを備えており、敏感な材料の取り扱いやイメージングのための制御環境を維持することができます。また、複数の検出器プローブ顕微鏡を使用して、臨界寸法やオーバーレイ精度などのさまざまな特性を正確に測定します。全体として、ASM TIB 139ツールは、マスクおよびウェーハ検査用の汎用性と信頼性の高いツールです。幅広い材料の欠陥を正確に検出することができ、高品位の真空アセットと複数の検出器プローブ顕微鏡により、制御された環境で信頼性の高い結果を得ることができます。