中古 ASM LBE140CC #9118771 を販売中

ASM LBE140CCは、高精度で高速な臨界寸法（CD）測定を提供する高度な自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、最大600mmのサイズのマスクを含む、幅広いマスクおよびウェーハサイズの測定機能を提供します。高度なソフトウェアは、CD測定、ライン幅、保護層、異常、および欠陥に関する包括的な検査レポートを提供します。LBE140CCは光学ズームレンズにより解像度を向上させ、測定データの精度と精度を向上させました。フォトマスク検査では最大500x、ウエハ検査で最大100,000xまで拡大可能です。このユニットは、制御された深さのウェーハやマスクから3D画像を測定することもでき、追加の欠陥を検出するのに役立ちます。ASM LBE140CCには、モーションベクトルオートフォーカスやフォーカス統計アルゴリズムなど、複雑なマスクでも正確な画像処理と広い視野範囲を提供するいくつかのオートフォーカス機能が装備されています。所定の「フォーカス」領域（ROI）を入力および監視でき、リアルタイムの欠陥補正が可能で、フォーカスレベルを調整できます。LBE140CCは包括的な分析とレポートを提供します。それは改善されたデータ出力の二重解像度そして分析を特色にします。このマシンはまた、画像からの自動計算をサポートし、幅広いライブラリ画像とのマッチ比較を自動化するのに役立ちます。この装置は、曲線、コーナー、傷などの幅広い機能を正確に検出および分析できます。ASM LBE140CCは、高い精度と信頼性を提供しながら、簡単な操作とメンテナンスを提供します。ハロゲン、赤色LED、レーザーなどのさまざまな光源を使用すると、オペレータはさまざまなアプリケーションの種類のニーズに合わせて照明を調整できます。このツールは人間工学に基づいて設計されており、操作が簡単で、オペレータの疲労を最小限に抑えます。要約すると、LBE140CCは高度なマスクおよびウェーハ検査機能を提供し、高精度の微細加工に不可欠なツールとなっています。オートフォーカス、デュアル分解能、フォーカス統計アルゴリズム、包括的分析などの機能を備え、最高品質のマスクとウェーハ検査を実現するための先進的なソリューションであり、優れた生産品質を保証します。