中古 ASM LBE139HCC #9118768 を販売中

ASM LBE139HCCは、精度と高解像度でウェーハやマスクを検査するために設計された自動ウェーハおよびマスク検査装置です。ウェーハ表面の表面形状測定、欠陥検査、パターンマッチ検査が可能です。このシステムには、高性能CMOSイメージャ、高精度モータ、高速イメージングプロセッサが搭載されています。CMOSイメージャは、検査対象物の画像を非常に高解像度でキャプチャし、正確な分析を可能にします。このユニットの高精度モータは、オブジェクト表面の制御可能なスキャンのための正確に制御されたステージ移動を保証します。イメージングプロセッサは、画像データをリアルタイムで処理し、検査対象領域の堅牢な分析を提供します。LBE139HCCは、線やビアなどの構造物の形状測定にも使用できます。機械は自動OCパターン認識ソフトウェアを使用して、検査対象の重要な領域を特定し、線形寸法を測定します。また、ラインピッチの解像度が向上し、スキャン時間が短縮され、登録精度が向上するなど、多くのパフォーマンスが向上しています。ASM LBE139HCCは高度な自動マスクおよびウェーハ検査資産です。ウェーハやマスクの自動パターンや欠陥検査を高速かつ正確に行うことができます。高精度モータ、CMOSイメージャ、イメージングプロセッサを組み合わせることで、表面形状測定、欠陥検査、パターンマッチ検査、構造形状測定に最適です。ラインピッチ解像度の向上、スキャン時間の短縮、登録精度の向上などの高度な機能を備えています。