中古 ASM LBE 139H #9266307 を販売中

ASM LBE 139Hは、半導体産業で使用されるマスクおよびウェハ検査装置です。DUVマスクと薄型ウエハーの両方において、最小限の特徴を正確に捉えることができる二重焦点対物レンズと高解像度CCDカメラを搭載しています。ソフトウェアベースの画像解析技術を採用し、高精度な欠陥の迅速かつ正確な検出を可能にします。このユニットは、パターニングエラー、傷、ほこり、酸化物、汚染だけでなく、マスクやウェーハの表面上の他の粒子や材料を検出することができます。また、配線エラー、パターンの欠落、欠陥、整列不良、および線幅のばらつきを検出することもできます。また、マスクやウェーハピッチ、ライン幅、CD幅などの特性値を正確に検出し、ライン幅の精度を測定し、マスクやウェーハの品質を評価することができます。また、ライン幅のバリエーションだけでなく、オープンまたは短い破損を検出します。さらに、ウエハエッチングやドリル条件におけるフィルムの均一性、表面粗さ、モニターの傾向などの非次元情報を調べることができます。このアセットは、幅広い検査範囲と高い再現性を備えているため、DUVマスクや薄型ウエハの品質を確保するための効果的なツールです。また、マスクやウェーハの大容量バッチの迅速かつ正確な検査を容易にする自動測定および分析モジュールが装備されています。また、検査領域のスキャン速度を制御し、動的変形と静的変形の両方を補正することで、高精度な測定が可能です。また、生産条件と実験室条件の両方で正確な画像とデータを生成します。さらに、装置は抵抗変形を検出し、画像と欠陥の両方を評価することができます。最後に、このシステムは人間工学に基づいたユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、簡単で効果的な操作を可能にします。潤滑、定期的な自動洗浄、凝縮防止などのメンテナンスサポート機能も備えています。