中古 ASM LBE 139 #9299471 を販売中

ASM LBE 139は、組み立てと製造の前に欠陥を検出するように設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、最大1µmの精度でマスクやウェーハを検査できる超精密光学検査機です。検査は、白色光の干渉計（WLI）の助けを借りて行われます。これは、白色光を使用して、コントラストの高い画像を素早くキャプチャし、低ノイズと高精度で正確な測定を行います。ユニットは高度な適応光学系と補完され、画質と均一な照明を向上させます。LBE 139のモーターを備えた光学系は、最大200mm/sの速度と5µm分解能でマスクを横切ることができます。検査の測定時間を大幅に短縮し、より高いスループットを実現します。さらに、ステージには2チャンネルのダイナミックフォーカスがあり、光学系がさまざまなプロセスハイトに適応することができます。ASM Precision Inspectorのソフトウェアパッケージは、ASM LBE 139インストゥルメントとフルフィールドツールの両方に適用できます。このソフトウェアは、強力なフィルタリングとエッジ検出アルゴリズムを使用して、視覚的な解釈を向上させるための高コントラスト画像を提供します。これにより、ユーザーはより高い精度で最小のフィーチャーサイズを測定することができます。ソフトウェアはまた、正しい高速スキャンのために電動ステージを調整します。さらに、LBE 139ツールの合計購入に含まれている継続的なメンテナンスとサポートも利用できます。これには、オンサイトサービスとリモート診断による24時間365日のテクニカルサポートが含まれており、潜在的な問題を迅速に解決できます。全体として、ASM LBE 139は信頼性の高い信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査資産であり、スループットを向上させて品質の高い結果を提供できます。それは最も小さい欠陥を見つけることができ、必要性の時に助けて準備ができている維持スタッフがあります。