中古 ASM ISP-189 #9266308 を販売中
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ASM ISP-189は、レチクル、フォトマスク、基板、ウエハの検査・分析を高精度に行えるように設計された高精度マスクおよびウェハ検査装置です。この光学検査システムは、最大0。25 の精度で複数の視野を検査することができ、0。1 の再現性により、高精度な解析結果を提供 ます。さらに、ロボティクスの機能は、ある検査ステーションから別の検査ステーションへの迅速かつシームレスな移動を可能にします。ISP-189には、あらゆる種類の粒子タイプ、重要寸法、リソグラフィ、および長期平坦性の問題を正確に評価できる検査機能が含まれています。独自の「サブステージフォーカススキャン」により、追加のステップや別個の高倍率検査ユニットを使用することなく、欠陥解析のために親の高い画像をキャプチャできます。さらに、測定性能を最適化するための高感度ダイツダイのオーバーレイおよびアライメント測定を搭載しています。統合されたオートフォーカス機能により、ウェーハおよびレチクル検査が大幅に簡素化されます。さらに、このツールの複数の視野角により、ウェハやレチクルを回転させる必要なく、欠陥エッジを高解像度で検査できます。さらに、SNR値、角度判定、円フィッティング、楕円フィッティング、最大7つの傾きレベルのグランドビュー検査などの強力な機能を備えています。また、3D検査アプリケーションなどの高度な機能を備えたユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)も提供しています。このモデルの3Dおよび画像検査機能を組み合わせることで、決定的なピンポインティングと潜在的な故障源の診断により、より深い検査結果が得られます。さらに、文字認識アプリケーションに使用されるOCRソフトウェアや、PCB検査用のコンピュータ支援設計(CAD)ソフトウェアなど、特定のアプリケーション要件に対応するさまざまな特殊なソフトウェアオプションも用意されています。ASM ISP-189の堅牢で信頼性の高いアーキテクチャは、最大の稼働時間を保証し、最適なパフォーマンスを保証します。ネットワークサポート機能により、ローカルPCへのデータの迅速かつシームレスな転送を可能にし、データ分析とストレージを実現します。さらに、体系的な予防メンテナンス機能により、定期的な校正やその他の費用のかかるメンテナンス作業が不要になります。要するに、ISP-189は、高精度の計測結果を真の画像で提供することができる高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。その高度な機能、高性能オプティクス、堅牢なアーキテクチャ、直感的なGUI、ユーザーフレンドリーな設計により、マスク、レチクル、ウェーハ、基板の検査および分析に最適です。
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