中古 ASM ISISP-189 #9396588 を販売中

ASM ISISP-189は、半導体製造プロセス向けに設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。完全に自動化されたウェーハハンドラと自動化されたアライメントにより、迅速なセットアップが可能です。ISISP-189には、630 nmのレーザー光源、高解像度モノクロカメラ、および付属ソフトウェアと手動または自動化できる光学ステージが装備されています。このシステムは、マスクとウエハーの両方の直径150 mmまでの欠陥を測定および検出することができます。マスクまたはウェーハを検査する際、ASM ISISP-189はブライトフィールドとダークフィールドの両方の画像を使用して、存在するすべての欠陥の高解像度画像をキャプチャします。薄膜とパターン構造の両方に最適化されており、ハードとソフトの両方の欠陥を正確に検出できます。ISISP-189は「、like-images」のような繰り返しの構造を識別することもできます。これを使用すると、さまざまなウエハー間の同じレプリケーション間の小さな違いをすばやく識別できます。このマシンは、10nm以下の精度で優れたウェーハ測定機能を備えているため、高度なチップ製造プロセスでの使用に最適です。ASM ISISP-189は、欠陥検出とレポート作成のための高度なフィルタリング機能を備えています。これには、各検査から最大限の情報を抽出するサブピクセルフィルタリング技術が含まれます。このツールはまた、異なる欠陥分類と報告アルゴリズムを備えており、欠陥位置、強度、形状を画像解析に役立つデータに変換することができます。ISISP-189には、高度なデータ分析と画像処理を可能にする堅牢なソフトウェアスイートも装備されています。これには、特定のマスクおよびウェーハ検査ツール、高度な画像処理、自動欠陥抽出、画像の再構築とフィルタリング、および完全なエンジニアリングレポートが含まれます。ソフトウェアはまた、生産プロセスで使用される他の自動システムと容易に統合することができます。全体として、ASM ISISP-189は強力で信頼性の高い自動マスクおよびウェーハ検査資産です。高度なイメージングと欠陥検出機能、高精度のウェーハ測定、優れたフィルタリング技術を備えています。堅牢なソフトウェアスイートにより、このモデルは研究および産業用アプリケーションの両方に適しています。