中古 ASM IBE 139 #9069578 を販売中

ASM IBE 139マスク&ウェーハ検査装置は、リアルタイムのインライン検査アプリケーションを実行するように設計された高性能イメージングシステムです。ASM IBE139は、欠陥検出およびグローバルメトロロジー機能に関するASMの専門知識を基盤とし、インライン生産時に重要な非標準マスク機能の欠陥を正確に検出および測定します。このユニットには、6シグマ3D断面ビューやパラメトリック解析などの高度なイメージングマッピングおよびフォルト検出機能が装備されており、主要な生産パラメータの監視を可能にします。また、マイクロローディングや多層欠陥などの非常に小さな機能を検出することができる、統合された目視検査ツールを備えています。IBE 139には、さまざまなアスペクト比と視野の画像を素早くキャプチャする専用のデジタルイメージングセンサが配列されています。アセットは、使用、発見、分析することができるさまざまな材料やパターンの配列の変動を測定することもできます。ウェーハ検査モデルIBE139、成形の試行錯誤段階において微細な制御を可能にするために独自に設計されており、発行された製品が望ましい設計基準を満たしていることを保証します。それは高度なデジタル顕微鏡技術を使用してマスク処理の各パスを監視し、機器は所望のデザインから逸脱するマスクやウェーハを検出することができます。このシステムは、汚染、エッチング損傷、制御されていないガス濃度、フォトマスク欠陥、フォトマスクまたはフォトレジスト層の下の汚染など、微小な欠陥を正確に検出して測定するように設計されています。単位は非標準的なマスクの特徴を測定するのに統計的なプロセス制御の技術を使用する。この光学系は、広範囲のサンプル部品のシャドウキャンセルのための光録光用の白色/透明光源とレーザー光源を提供します。ASM IBE 139ウェーハ検査機は、表面の清浄度や変形を検出できる差動フォーカスイメージング（DFI）にも対応しています。ASM IBE139マスク&ウェーハ検査ツールは、オペレータにさまざまな重要な部品を簡単かつ効率的に検査する方法を提供するように設計されています。ユーザーフレンドリーなインターフェース、高解像度イメージング、優れた計測機能を備えたIBE 139は、高精度のインライン検査に最適です。