中古 ASM IBE 109 #9396459 を販売中

ASM IBE 109はASMインターナショナルによって設計されたマスクおよびウェーハの点検装置です。全自動、多軸、最先端のシステムで、さまざまなタイプの検出器を使用してマスクとウェーハフィルムの両方を検査することができます。オーバーフローカメラ、フロントサイドイルミネーション（FSI）、ダブルサイドイルミネーション（DSI）、コントラスト伝達機能（CTF）の4つのトップレベル検出器を備えています。Overflowカメラは、マシンの主要な検出器であり、信じられないほど高解像度の画像を提供します。高精度・高速ダイレクトラインスキャンをベースとしています。他の検出器が検出に失敗する可能性のあるフィルム上の微妙な特徴を検出することができます。FSI検出器は、透明層と不透明層の両方からなる異質膜の検査に使用されます。フィルム欠陥を検出できる高出力光とシャドウイメージングを組み合わせて使用しています。DSI検出器は、均質フィルムの検査に使用されます。フィルムベースとレイヤーの両面を検出できる2つの光源を備えています。フィルム基板とレイヤーの非周期的欠陥と周期的欠陥の両方を検出することができます。最後に、CTF検出器はフィルムの露出プロファイルを測定するために使用されます。高出力光画像とコントラスト伝達機能（CTF）イメージングを組み合わせてレジスト層のプロファイルを計算します。IBE 109には、検出器のパラメータと測定を制御できる統合ソフトウェアパッケージもあります。このソフトウェアは、フィルム検査、欠陥評価、バッチ処理、およびデータ分析および他のシステムへのエクスポートを制御するために使用できます。このソフトウェアは、パラメータの検査に関するリアルタイムのフィードバックを提供することもでき、検査プロセスごとに詳細なレポートを生成することもできます。ASM IBE 109は、異種および均質なフィルムを検査するための優れた精度と精度を提供する強力なマスクおよびウェーハ検査アセットです。そのソフトウェアパッケージは、全体的な検査経験を向上させるさまざまな機能を提供します。高速で効率的で信頼性の高い性能を備えたIBE 109は、すべてのマスクおよびウェーハ検査ニーズに対して信頼性の高い選択肢です。