中古 AMETEK / TAYLOR HOBSON i-Series PRO #293808007 を販売中
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ID: 293808007
ヴィンテージ: 2020
Surface and contour measurement system
P/N: M112-105482
Inductive gauge system: 5 mm
Traverse unit, 120 mm
Motorized column, 450 mm (±9° Tilt)
Calibration ball
Stylus tips: 2μm, 60° / 90°
112-102577-01 CNC Y-Axis
Locating stage
112-1859 Self centering chuck
112-4902 Manual 3-Axis stage
Calibration:
Straightness: 0.114 µm
Gauge calibration – Pt: 0.079679 µm
Gauge 3-Line calibration: 0.826 µm
Gauge system noise: Rz 4 nm
Additional stylus:
(2) 112-4577-02
(2) 112-4593-02
(2) 112-4575-02
PC
Workstation
Dual monitor
UPS
Keyboard tray
2020 vintage.
AMETEK/TAYLOR HOBSON i-Series PROは、半導体製造プロセスおよびその他の関連産業における高精度の表面計測および欠陥検出用に設計された高度なマスクおよびウェハ検査装置です。この最先端の機器は、最先端の技術と革新的な機能を統合して、品質保証およびプロセス制御アプリケーションに正確で信頼性の高い測定データを提供します。AMETEK i-Series PROは、高解像度カメラや高度な光学系を駆使し、マスクやウェーハの表面の詳細な画像をキャプチャする高度なイメージングシステムです。これらの画像は、高度なアルゴリズムと分析ツールを使用して処理され、サンプル表面に存在する地形、粗さ、欠陥に関する重要な情報を抽出します。このユニットは、サブナノメートル分解能でデータをキャプチャすることができ、希望する表面特性からの最小の欠陥や偏差を検出することができます。TAYLOR HOBSON i-Series PROの主な特徴の1つは、ユーザーフレンドリーなインターフェースで、オペレータは実験を簡単に設定し、データをキャプチャし、最小限のトレーニングや専門知識で結果を分析することができます。このマシンは、一般的な表面計測タスク用にあらかじめ設定されたさまざまな測定モードを提供し、さまざまなアプリケーションの特定の要件を満たすために測定パラメータと分析アルゴリズムをカスタマイズする柔軟性を提供します。I シリーズPROは、粗さ、波長、成形誤差、粒子汚染など、幅広い表面パラメータを測定することができます。このツールは、2Dおよび3Dサーフェスメトロジー測定の両方を実行することができ、複数の視点からサンプル表面を包括的に評価することができます。これにより、ユーザーはマスクやウェーハの表面特性と品質を徹底的に理解し、プロセスの最適化と品質管理を容易にすることができます。表面計測に加えて、AMETEK/TAYLOR HOBSON i-Series PROは、傷、ピット、粒子、パターン偏差などの欠陥の識別と分類を可能にする高度な欠陥検出機能を備えています。このアセットは、機械学習アルゴリズムとパターン認識技術を使用して、サンプル表面の欠陥を自動的に検出および定量化し、マスクとウェーハの品質と完全性に関する貴重な洞察を提供します。AMETEK i-Series PROは、幅広いサンプルサイズと形状に対応できるように設計されており、さまざまな寸法のマスクやウェーハの解析が可能です。このモデルには、電動ステージと精密位置決めシステムが装備されており、サンプル表面全体で正確かつ再現性の高い測定が可能です。これにより、複雑な形状または非均一サーフェスを持つサンプルを分析する場合でも、一貫した信頼性の高い結果が保証されます。全体として、TAYLOR HOBSON i-Series PROは、マスクおよびウェーハ検査のための最先端のソリューションであり、半導体製造および関連産業における表面計測および欠陥検出の高度な機能を提供します。i-Series PROは、高性能イメージング装置、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、包括的な測定機能を備え、半導体製造プロセスの品質管理、プロセス最適化、生産性を向上させる貴重なツールです。
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