中古 AMAT / APPLIED MATERIALS WF 736 XS #9159817 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS WF 736 XS
ID: 9159817
ウェーハサイズ: 8"
Wafer particle inspection system, 8".
AMAT WF 736 XSmask&ウェーハ検査装置は、高速生産アプリケーション向けに設計されており、粒子や欠陥を生産的かつ正確に検出します。シングルビューシステムまたはデュアルビューシステムで、幅広いウエハサイズのリアルタイム粒子および欠陥検査を高スループットで実行します。このユニットには、高出力の紫外線(UV)とブライトフィールドランプマシンが装備されており、ユーザーは1回のスキャンで欠陥や粒子に関するより多くの情報を生成することができます。この2-in-one構成により、毎時3,500ウェーハまでの速度で検査するための検出感度が最大になります。このツールは、埋め込みビジョンアセットと真空ウエハインタフェースを備えた自動アライメントプロセスを備えています。これにより、正確で一貫性のある再現性のあるウェーハ検査が保証されます。物理検査モデルは、チップ間の効率的な視野範囲を提供し、チップエッジに沿って粒子と欠陥密度を検出することができます。この装置は、ロボット支援ウェハハンドリング用のハードウェアインザループ機能を提供します。これにより、サイクルタイムの短縮、スループットの向上、および高精度の効率的なウェーハ処理が可能になります。さらに、WF-736には、迅速でユーザーフレンドリーなセットアップのためのグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)があります。これは、複数のステーションの集中管理を提供する組み込みプロセス制御センターを持っています。また、プロセスデータの監視、表示、アーカイブのための包括的なデータ収集ツールも備えています。最大6本の検査軸をサポートし、最大16軸の制御が可能です。このユニットにはトレーサビリティ機能が内蔵されており、さまざまな場所からスキャン履歴をリアルタイムで記録/再生できます。これは、オペレータが欠陥とその場所を見つけるのに役立ちます。また、顧客のレシピやプログラムを簡単に転送するためのオンボードのレシピストレージと転送メモリを備えています。さらに、このマシンはApplied Metallization 5020ソフトウェアと互換性があり、欠陥認識と分類が可能です。これにより、迅速かつスムーズなプロセスが可能になり、ユーザーの入力に対する応答時間が短縮されます。APPLIED MATERIALTS WF 736 XSmask&ウェーハ検査ツールは、生産アプリケーション向けの効率的で正確なソリューションです。それは優秀な粒子および欠陥の検出、速くおよび適用範囲が広い操作およびユーザーのための容易なセットアップを提供します。高速スキャン、自動化されたアライメント、高度なビジョンアセットの組み合わせにより、本番環境において信頼性の高い選択肢となります。
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