中古 AMAT / APPLIED MATERIALS WF 736 DUO #9409210 を販売中

ID: 9409210
ヴィンテージ: 2001
Patterned wafer inspection system 2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS WF 736 DUOは、ユーザーが単一の統合プラットフォーム上で誘電パターンと金属パターンの両方を迅速に識別、マーク、測定できる自動マスクおよびウェーハ検査装置です。明視野と暗視野の両方の照明を使用して、幅広い機能をキャプチャします。AMAT WF 736 DUOは、最大0。5 µmの解像度を実現し、幅広い生産および研究アプリケーションで正確で信頼性の高い結果を保証します。このユニットのユニークなコアコンポーネントは、6メガピクセルの高解像度カメラと光学CCD/CMOSセンサーを内蔵しており、高速で正確で高解像度のイメージングを可能にします。このコンポーネントは、サンプルサイズに合わせて調整できる低倍率(2x-25x)または高倍率(50x-750x)レンズによって補完されます。このマシンは、リアルタイムの画像キャプチャとビデオ分析を備えた高解像度LCDタッチスクリーンを介して操作することができます。APPLIED MATERIALS WF 736 DUOには強力なツールボックスが装備されています。このツールは、CDやCDエラーマッピングなどの高速な光学検査を実行することができ、小型/複雑なジオメトリ(CD/CDエラー、線幅/間隔、クリティカル寸法など)を測定することができ、アスペクト比や線密度などの高度な測定を行うことができます。アセットはまた、異なるウェーハやレチクルの形状を補正することができ、ユーザーはアプリケーションに応じて設定を素早く簡単に調整することができます。このモデルは、高速イメージングと高い測定精度を備えた量産に最適化されており、RIEエッチング、NSIT、 UT検査などの特殊なタスクにユーザーが調整することができます。また、画像の品質と完全性を評価することができ、直接検査から隠れたり隠れたりする可能性のあるパターンを検出することができます。WF 736 DUOは、マスクおよびウェハ検査用の強力で信頼性の高い汎用性の高いツールです。シンプルな操作、高解像度イメージング、高度なツールにより、このシステムは幅広い生産および研究アプリケーションにおいて貴重なものとなる可能性があります。
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