中古 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 7 #9298596 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 7
ID: 9298596
ウェーハサイズ: 12"
Brightfield inspection system, 12" 2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 7マスクおよびウェーハ検査装置は、マスクおよびウェーハの検査に使用されます。AMAT UVision 7は、マスクとウェーハの両方において極めて小さな欠陥を検出できる完全自動検査システムです。5メガピクセルのイメージセンサーと16インチの検査ヘッドを搭載し、マスクとウェハの両方の高品質な画像をキャプチャすることができます。APPLIED MATERIALTS UVision 7は、位相シフトとフォーカスベースのイメージングの両方を提供し、欠陥分解能を向上させる独自のデュアルカメラ検査機を備えています。このツールは、サブナノメートルイメージング分解能を達成することができ、マスクとウェーハの両方の表面に非常に小さな欠陥を検出することができます。UVision 7は、高度なパターン認識アルゴリズムを使用して、マスクまたはウェーハの撮影した画像と保存された参照画像を比較し、存在する欠陥を自動的に検出します。アセットはパターン欠陥とランダム欠陥の両方を検出および分類することができます。また、検査プロセスから収集したすべてのデータをサイズ、形状、場所、およびエクスポートすることができ、容易な分析と報告を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALTS UVision 7は、マスクやウェーハのサイズをほぼ全自動で操作できる完全自動化モデルです。自動化された操作は、複数のマスクおよびウェーハ検査を実行し、各検査から収集されたデータを分析するように構成することができます。さらに、この装置は複雑なマスク検査を実行することができ、自動ウェーハ校正機能を備えています。AMAT UVision 7には直感的なユーザーインターフェイスも含まれており、ユーザーは簡単に検査プロセスを設定、監視、調整することができます。統計プロセス制御(SPC)と分析機能を統合したシステムで、ユーザーはユニットのパフォーマンスを迅速に評価し、必要に応じて是正措置を講じることができます。機械は非常に形成可能で、特定の顧客の要求を満たすためにカスタマイズすることができます。様々な光学構成や部品に対応できるため、汎用性に優れています。また、メンテナンス性が低く、メンテナンスとキャリブレーションを最小限に抑えて長時間の稼働が可能です。
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