中古 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 7 #9271006 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 7
ID: 9271006
Brightfield inspection system, 12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 7は、ウェーハやフォトマスクの欠陥を特定するために使用されるマスクおよびウェーハ検査装置です。パターンの欠陥を指示し、プロセスを監視し、コラボレーションを強化し、欠陥の分類精度を確保し、スループットを向上させて複雑さを軽減し、歩留まりを向上させます。AMAT UVision 7は、荷電粒子ビーム光学系を利用して、基板からイメージングとプローブデータを取得します。この技術は、光電子レンズ、光電子加速器、および光電子検出器を利用しています。これらの部品は電子を参照し、マスクやウェーハの表面を変形させることなく高解像度の画像を生成します。この画像は、潜在的な欠陥を特定するために高倍率で検査されます。アプライドマテリアルズUVision 7は、ウェーハ欠陥識別用のダイレクトカソード照明ユニットを内蔵しています。本機は、蛍光スクリーンを採用し、表面特性の表示を向上させます。スクリーンの明るい点は表面レベルまたは構造の欠陥を示します。UVision 7は、ウェーハ表面全体を同時に分析するフルフィールドイメージングツールも備えています。これにより、存在する可能性のあるあらゆる欠陥または構造的弱点を包括的に把握でき、追加の注意が必要な領域を迅速に特定できます。ユーザーと顧客またはサプライヤの間のコラボレーションを強化するために、AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 7には、リモートレビュー機能と意思決定サポートツールの両方が組み込まれています。リモートレビュー機能により、世界中の施設から欠陥のレビューとコラボレーションが可能になります。意思決定支援ツールは、複雑さとオペレータの作業負荷を軽減する自動欠陥分類に役立ちます。さらに、AMAT UVision 7には、特許出願中のActive Pattern Learning機能が含まれています。この機能は、時間とともに表面の変化パターンを継続的に監視し、潜在的な欠陥を防ぐために新しいパターンまたは変化パターンを迅速に識別することができます。全体として、APPLIED MATERIALS UVision 7は、イメージングとプロービング機能、ウェーハ欠陥識別用のダイレクトカソード照明、フルフィールドイメージングを提供する高度なマスクおよびウェーハ検査アセットです。特許出願中のActive Pattern Learning機能は、潜在的な欠陥を防ぐために新しいパターンまたは変化するパターンを識別するのに役立ちます。このモデルは、さまざまな機能と組み合わせて、収率を増加させ、複雑さを軽減して、フォトマスクとウェーハの高品質な生産を保証します。
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