中古 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #9375213 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALIES UVision 5は、マスクとウェーハ検査の世界で活躍しています。高度に自動化された機器で信頼性の高い汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査を提供し、短い学習曲線を備えています。このツールは、355nmのUVレーザー光と6つの円形CCDカメラを使用して、最大3000X倍の倍率でウェーハレビューを可能にします。このツールは、大規模なウェハマップの正確なレビューを提供し、パターン認識の速度を向上させ、誤った拒絶反応を減少させます。設計規則違反の特定に加えて、システムは効率的で信頼性の高いパターン認識を保証するために自動分類アルゴリズムを適用します。このツールには、柔軟な事前設定されたサブフィールドエリアも含まれており、特定の歩留まり関連のホットスポットをターゲットにするのに役立つ、より大きな領域にわたって詳細な機能レビューを行うことができます。AMAT UVision 5は非常に汎用性の高いツールで、さまざまな基板ジオメトリを検査できます。非「正方形」のチップや、ゲートサイドウォール構造などの構造物において、異なるパターンを容易に検査することができます。パターン欠陥の検出に加えて、ランダムノイズ、ファジーエッジ、ライン幅の変化などの欠陥異常を探すこともできます。このユニットはまた、自動および手動の欠陥分類機能を備えており、ユーザーと欠陥検出機の両方にデバイス関連のエラーをよりよく理解することができます。また、フォーカスキャリブレーションとドリフト調整が自動化されているため、サブnm解像度での10シグマの再現性のためのパターニングアライメントと一貫したパフォーマンスが可能です。自動化された機能は、ユーザー定義の設定を排除し、手動チューニングを大幅に削減し、より一貫性のある再現性のある測定を可能にします。アセットのインターフェースも使いやすく、簡単なパターンレビュー、注釈、選択をサポートするユーザーフレンドリーなGUIを備えています。また、デスクトップから完全な操作と品質管理機能を提供しています。結論として、APPLIED MATERIALTS UVision 5モデルは、今日の半導体製造工場でのマスクおよびウェーハ検査用に設計された信頼性の高い汎用性の高いツールです。正確なパターンレビューと欠陥検出機能、信頼性の高い測定のための自動設定を提供します。さらに、ユーザーフレンドリーなGUIは、簡単なパターンレビュー、注釈、および選択を提供します。