中古 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 5 #293602517 を販売中
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ID: 293602517
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2013
Brightfield inspection system, 12"
Process: Metro
2013 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5は、半導体製造に使用される高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、独自の高度なイメージング技術を使用して、これまでにない精度とスピードで半導体ウェーハのパターンを識別および評価します。AMAT UVision 5は、シンプルで直感的な操作と柔軟なデータ出力を提供することにより、マスクやウェーハの品質を研究するための高度で効率的なツールです。APPLIED MATERIALS UVision 5の主要コンポーネントは、そのイメージングユニットです。紫外線を利用し、卓越した解像度と精度の映像をお届けします。このツールは、12ナノメートルのパターンをキャプチャし、半導体ウェーハ上の微小な異常や粒子の汚染を検出することができます。Zeiss Versa Automated 10x 5NA装備された光学系の助けを借りて、アセットは毎秒100の視野をスループットすることができます。UVision 5は、高度なデータ処理機能も備えています。独自のソフトウェアは、顕微鏡のエッジデータとイメージングモデルの写真データを統合して、ウェーハの欠陥、不規則性、またはその他の異常を特定します。このデータは、Raw Data、 Measure Data、 Visual Informationなどのさまざまな行列に処理できます。また、ウェーハ上の複数のレイヤー間のデータ融合により、個々の境界における均一性と一貫性を確認することもできます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 5は、リアルタイムコントロールによりシステム操作を簡素化します。これにより、ユーザーはユニットを使用しながら、データの機能、パラメータ、および可視化レベルを簡単に調整することができます。さらに、AMAT HVM (High Volume Manufacturing)、 Atlas Softwareソリューションとも統合されています。これにより、ユーザーエクスペリエンスをさらに合理化し、特定のプロジェクトのエンジニアリング業務にかかる労力と時間を削減できます。最後に、AMAT UVision 5のデータ出力機能により、レポートの正確な生成が保証されます。これにより、マシンは。csv、 。txt、 。xml、 。vdm、 。vmd、 。mma形式などの幅広い業界標準フォーマットでデータをエクスポートでき、ユーザーは自由にデータを別のツールに移植できます。結論として、アプライドマテリアルズUVision 5は、複雑なイメージング機能と高度なデータ処理ツールを誇る高度なマスクおよびウェーハ検査アセットです。操作のシンプルさ、複数のレイヤー間のデータフュージョン、高解像度のリアルタイムコントロールにより、このモデルはあらゆる半導体生産環境にとって強力で効率的なツールです。
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