中古 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4 #9390689 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4
ID: 9390689
Brightfield inspection systems.
AMAT/APPLIED MATERIALTS UVision 4装置は、先進のクリティカルエリアマスクおよびウェーハ検査(CAMI)プラットフォームです。このシステムは、不透明で透明なウェーハとマスクの両方の高精度なサブミクロン分解能イメージングと分析を提供するように設計されています。AMAT UVision 4ユニットには、最先端のデュアルビームイメージングおよび解析プロセスが搭載されており、ナノメートルスケールの解像度を提供します。このマシンは、そうでなければ検出されない可能性があるマスクやウェーハのエラーを検出し、修正することができます。応用材料紫外線4用具は4つの主要な部品から成っています:(1)高性能の二重ビーム顕微鏡の資産;(2)高性能の冷却モデル;(3)高精度画像解析装置。(4)高解像度画像表示システム。デュアルビームイメージングユニットは、光学ビームと電子ビームの両方を使用して、サブミクロン分解能のイメージングとウェーハとマスクの分析を提供します。デュアルビーム顕微鏡装置により、ウェーハ表面およびマスク基板上の臨界寸法(CD)、接触穴寸法、スペース間隔を直接測定できます。UVision 4冷却ツールは、サブミクロン分解能を維持しながら急速なサンプル冷却を可能にする特許技術に基づいています。冷却された部屋はサンプルが-100°C低い温度に残ることを可能にします。これは、サンプルとイメージング資産の間で起こりうる物理的相互作用の複雑な景観を減らし、驚くほど明確な画像を提供するのに役立ちます。高精度の画像解析モデルには、一連の洗練されたソフトウェアパッケージが含まれており、欠陥検出、分離、識別が可能です。この装置は、傷、空隙、または非接触などの欠陥、および欠陥の向きを検出して報告するために機能します。自動化された解析結果をさまざまな形式で出力して、さらなるレビューを行うことができます。最後に、AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4画像表示システムは、画像のライブビューとレビューを強化するように設計されています。高解像度で高品質な画像を提供し、正確な欠陥検証と問題解決を実現します。全体として、AMAT UVision 4ユニットは、エレクトロニクス製造業界で非常に貴重な資産となる多くの機能を備えています。ナノメートルスケールの解像度と検出機能と堅牢な冷却装置により、不透明で透明なウェーハとマスクの正確な検査と分析が可能です。このツールは、今後数年間、業界でますます不可欠なツールになると確信しています。
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