中古 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 4 #9298248 を販売中

ID: 9298248
ウェーハサイズ: 8"
Brightfield inspection system, 12" 2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4マスクおよびウェーハ検査装置は、さまざまなマスクおよびウェーハ表面の欠陥を迅速かつ正確に検出するために設計された高精度イメージングシステムです。このユニットは、優れた性能と信頼性を提供するために、最先端の光学系と高度なイメージングソフトウェアを活用しています。この機械の中心は4k光学用具です。これは、デュアル高解像度の4Kカメラヘッドを備えており、それぞれ13。8um/ピクセルの真の解像度を提供します。光学アセットには、2つの内部テレセントリックレンズも含まれています。この配置により、視野全体にわたって均一な画像キャプチャが保証されます。さらに、ウェーハとマスクの両方を正確にターゲティングするための正確な位置決め段階を備えています。AMAT UVision 4は、高性能CMOSイメージングデバイスを使用して、ダークフィールドとブライトフィールドの両方の画像をキャプチャします。これらのカメラは、フレームごとに最大25秒のデータを取得することができます。また、オーバーレイ用途において、1ナノメートルの精度でダークフィールドとブライトフィールドを同時に取得できます。APPLIED MATERIALS UVision 4は、カメラや光学系の細かな配置とともに、高コントラストで高解像度の画像を取得することができます。装置独自の検査ソフトウェアは非常に強力です。ダイナミック焦点距離、ダークフィールド/ブライトフィールドフィルタ、ディフェクトセンシングなど、さまざまな革新的なツールを提供しています。このソフトウェアはユーザーフレンドリーでありながら堅牢であり、パーティクル、傷、ボイド、ショーツなど、マスクやウェーハ表面のさまざまな種類の欠陥を自動的に検出することができます。UVision 4は、高度な測定解析、3D画像ステッチ、MTFトラッキングなどの後処理機能も提供します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 4マスクおよびウェーハ検査システムは、幅広いマスクおよびウェーハ表面の欠陥を迅速かつ正確に検出するための信頼性の高い高精度ソリューションを提供します。最先端の光学系と高度なイメージングソフトウェアと後処理ツールを組み合わせることで、AMAT UVision 4は、これまで検出できなかった脆弱な精密表面の欠陥を発見するのに役立つ強力なイメージングユニットです。
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