中古 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 3 #293609484 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 3 Mask and Wafer Inspection Equipmentは、Backend-of-Line （BEOL）半導体製造プロセスで使用するために設計された自動光学検査システムです。このユニットは、各レチクルとウェーハを検査して、マスクパターニング、計測、アライメントのエラーを検出します。これは、フォトマスク製造、レジスト層の露出、エッチング処理など、BEOLプロセスのいくつかの異なる段階でレチクルとウェーハを評価するために使用できます。このマシンは複数のコンポーネントで構成されており、ReticleとWaferのすべての機能を高品質で高解像度で同時に検査できます。主なコンポーネントの1つは、ビームスキャナとレンズアセンブリを収容するビームプロジェクターツールと、レチクル基板ホルダーです。このアセットは、レチクルまたはウェーハに可視光ビームを集中させ、表面全体をラインごとに正確にスキャンするように設計されています。ビームはレチクルまたはウェーハによってビームプロジェクターモデルに反射され、解析されます。次のコンポーネントは、ビームプロジェクター装置からのデータを分析し、レチクルとウェーハのエラーと欠陥を検出するために使用されるパターン認識ユニットです。このユニットは、肉眼では見えない可能性のある欠陥を検出するために高度なアルゴリズムを使用しています。このソフトウェアは、ReticleとWaferが指定された要件を満たしていることを確認するために、フィーチャーのサイズ、配置、間隔を測定することもできます。AMAT UVision 3マスクおよびウェーハ検査システムの最後のコンポーネントは、ディスプレイ&コントロールユニットです。このユニットは、ユニットを制御し、製品データにアクセスするために使用されるタッチスクリーンディスプレイで構成されています。また、レチクルとウェーハを表示する内蔵のカメラと、レポートをユニットから直接印刷できるようにするプリンタも付属しています。全体として、APPLIED MATERIALTS UVision 3マスクおよびウェーハ検査機は、BEOLプロセス中にレチクルとウェーハを効果的に検査するように設計された堅牢で信頼性の高いツールです。肉眼では検出できない不具合の検出、特徴サイズ、配置、間隔の測定が可能で、レチクルやウェーハの検査においても一貫した精度と精度が得られます。