中古 AMAT / APPLIED MATERIALS UVision 200S #293749018 を販売中
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ID: 293749018
ヴィンテージ: 2007
Brightfield inspection system
DUV Laser: 266 nm
Polarization controller
Sensitive photomultiplier detector
Brightfield
Scattered light
Greyfield
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS UVision 200Sは、半導体ウェーハの自動検出および検査に使用される、世界をリードするマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、製造プロセスのすべてのステップを効率的に監視できる、コスト効率が高く、迅速で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査用に設計されています。AMAT UVision 200Sには、マスクとウエハーの生産ラインの両方で欠陥を検出するための高度な技術が搭載されています。精度と速度を確保するために動的に変化する形状を検査するための高解像度の光学センサを備えています。また、UHV (Ultra-High Quantum Efficiency)カメラを使用して、紫外線と可視光で高コントラストの画像を撮影します。また、独自のTomoAccurateTMソフトウェアスイートを備えており、リアルタイム分析と具体的な検査結果を提供します。ソフトウェアはまた、ナノメートルの欠陥を検出し、分類することができます。応用材料紫外線200Sには、基板の欠陥を正確に特定するマルチアングル散乱計(MAS)もあります。その結果、このマスクおよびウェハ検査機は欠陥を検出し、0。1 μ mの解像度で詳細なレポートを提供することができます。さらに、UVision 200Sには機械学習機能があり、重要な欠陥の迅速な検出とプロセスの改善を可能にします。その強力なアルゴリズムは、粒度の高いデータ駆動解析により、時間の経過とともにプロセスの変動を評価および監視することができます。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALTS UVision 200Sは、コスト効率の高い自動検査と欠陥の検出を提供する高度なマスクおよびウェハ検査ツールです。この資産には、マスクやウェーハの精密な検出と分析のためのさまざまな最先端の光学センサー、独自のソフトウェア、機械学習機能が装備されています。ナノメートルの欠陥を0。1 μ mの分解能で検出し分類することができ、生産プロセス全体を正確に監視することができます。
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