中古 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision #9179929 を販売中

ID: 9179929
ヴィンテージ: 1999
Defect review system, 8" Process: Metro 1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVisionは、最新の画像解析技術と光学技術を組み合わせたマスクおよびウェハ検査装置で、集積回路の製造において高い均一性と忠実性を維持します。ウェーハやマスクの加工を高速かつ正確に解析できるように設計されています。AMAT SemVisionシステムは、高度な光学系、高度な処理アルゴリズム、マルチスペクトルイメージングを使用して、ウェーハとマスクを検査し、均一性と忠実性を確認します。線幅、エッチング深さ、均一性、欠陥係数などの構造の微細なパターンや変動を検出できる高感度機器です。ビジョンユニットは、複雑なマスクやウェーハの幅広いプロセスを迅速に分析できる総合検査機です。このツールには、高解像度カメラ、内蔵のハイエンド光学、強力で効率的な計算能力、および統合された資産にカプセル化された高度な画像処理技術が組み込まれています。高解像度画像と、ほんの数秒で解析できる膨大な量の画像のステレオデータの両方を収集できます。APPLIED MATERIALTS SemVisionモデルは、マスクとウェーハの均一性と精度を確認および測定できる2段階のプロセスで設計されています。分析の前に、装置はウェーハまたはマスクの資格の全体的な理解を得るために一連の初期テストを事前に形成します。これが達成されると、システムは、画像パラメータのフルレンジのデータを同時に収集することによって、その検査を開始します。これらのパラメータは、設計図面のベースラインパラメータと比較され、矛盾を識別し、視野全体の均一性のパターンを調べます。SemVisionを使用した検査の深さと品質は、その効率、精度、結果の品質において比類のないものです。検査プロセス全体が自動化され、結果は堅牢で信頼性があります。AMAT/APPLIED MATERIALTS SemVisionを使用すると、従来の検査技術で検出されなかった可能性のある欠陥が検出可能になり、迅速に診断されます。このように、このユニットは、集積回路メーカーや研究センターに採用されるようになってきています。
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