中古 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 #9408666 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5は、正確なウエハおよびマスク欠陥解析と軽減のための自動解析を提供する複合マスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、光学およびエレクトロニクスイメージング手法を使用して、正確で正確な欠陥解析を可能にするハードウェア、ソフトウェア、およびハードウェアの統合を組み合わせて構築されています。この装置は、G5光電子顕微鏡をベースにしています。これは、イメージング部品の光学性能を測定および定量化するために使用できるフルフィールドの定量リソグラフィーツールです。このツールは光イメージングと電子イメージングの両方を使用して、ウェーハとマスクの両方の欠陥を検出、検出、観察、パッチ適用できます。この顕微鏡ツールには、革新的な光学およびエレクトロニクスイメージング技術が搭載されており、正確かつ正確な結果を得ることができます。また、不良解析の精度と生産性を向上させる仮想マスクの構築も可能です。G5光電子顕微鏡モデルに加えて、AMAT SemVision G5には、光学性能の自動化されたフルフィールド定量化のためのOptometricsも含まれています。このツールは、統計アルゴリズムを使用して任意の画像の光学性能をリアルタイムでメトリックベースで評価します。オプトメトリクスは、高精度かつ正確に欠陥を検出、発見、追跡することができます。また、ウェーハサーフは、ウェーハの表面形状の不要な変化を検出および分析するのに役立ちます。ウェーハサーフは、平面化問題、マスク壁形状の変形、セレーションなどの非印刷機能を識別することができます。アプライドマテリアルズSemVision G5は、完全なリソグラフィ欠陥解析と軽減のためのオールインワンアプリケーションを提供します。強力で正確な画像処理技術の組み合わせは、製品の最高品質を確保するために努力しているあらゆるメーカーにとって貴重なツールです。
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