中古 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 #293614938 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5
ID: 293614938
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
Defect review system, 12 2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS AMATのSemVision G5は、半導体ウェーハの高度なイメージングを実現する次世代マスクおよびウェーハ検査装置です。最適化された光学システム、5軸電動ステージ、高解像度CCDカメラを備えており、最適な画像条件を保証します。AMAT SemVision G5は、半導体チップ上のパターン構造やデバイスに見られるパターンの信頼性の高い高解像度イメージングと解析を提供します。この光学ユニットは、コアに多極化エネルギー反射を備えており、鋭いエッジ、小さな欠陥、微細なライン欠陥の検出を改善することができます。また、超高焦点精度、低ノイズCMOSカメラ、可視アライメントマシンも搭載しています。さらに、APPLIED MATERIALS SemVision G5にはオートフォーカス機能が内蔵されており、ウェハの地形に基づいてフォーカスと画像サイズを自動調整することができます。SemVision G5のイメージング機能は、統合されたステージによってさらに強化されています。この5軸電動ステージは、X、 Y、 Z、ピッチ、およびロール座標の精密な動きを提供し、ウェーハの360度のイメージングを可能にします。さらに、アセットは複数ポイント間を素早く移動することができ、最大限のカバレッジと高速スループットを可能にします。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5は、5 μ mの解像度を持つ最先端のCCDカメラを採用し、最大5〜6 μ mの小型フィーチャーサイズを簡単に検出および分析することができます。さらに、イメージノイズ、コントラスト、エッジのシャープネスなどの高度な画質指標を備えており、信頼性の高い画像処理結果を保証します。結論として、AMAT SemVision G5は、高性能光学装置、5軸電動ステージ、およびCCDカメラを備えた高度なマスクおよびウェーハ検査モデルです。その優れたイメージング機能により、半導体ウェーハ上の小さな特徴、欠陥、およびラインパターンを検出することができ、信頼性の高い正確な分析および製造プロセスを可能にします。
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