中古 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 #293589564 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5
ID: 293589564
ヴィンテージ: 2010
Defect review system 2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5は、高性能、プロセス制御、コスト効率のために設計された、主要な自動マスクおよびウェーハ検査装置です。半導体リソグラフィでの使用に最適な、システムの高度なイメージング技術は、詳細な可視性と欠陥の分類を提供するために露出したマスクと完成したウェーハの高解像度画像をキャプチャします。G5は、高度な画像処理ソフトウェアを備えた強力なCPU/GPUシングルボードプロセッサを使用して、マスクやウェーハを検査する革新的な完全自動化ユニットです。このマシンの高倍率ハイエンドのLumeneraトランスミッシブステージは、6インチおよび8インチのウェーハサイズと2倍のレチクルサイズの自動イメージングを提供します。高性能センサは、1µmよりも小さいすべての欠陥タイプの鮮明な画像を提供します。このツールは、TrueColor、 Contrast ImageMasking、 Chromatic Defocusなどの高度な分析を使用して、欠陥を検出、測定、分類します。G5の迅速な起動と最小限のメンテナンスにより、非常に経済的な検査資産となります。1台のコンピュータでマスクとウェーハ検査の両方の機能を制御し、モデルは独自のGGIライセンスを通じてAMAT/APPLIED MATERIALTS Wafer Tracking Equipmentと完全に統合されています。このユニットの高度なイメージングと分析により、お客様は正確なインライン3Dウェーハ画像を作成し、45nmノード以下の臨界寸法検査(CDI)で既存の条件を検証し、オフライン分析を必要とせずに汚染を検出してデルタを測定することができます。また、初回検査後の不具合の優先順位付けにも使用でき、定期的な不具合を迅速に特定して修正することができます。G5は248nm、 193nmおよび157nmレーザーの大量生産のための持続的な出力そして生産性のための条件を満たすように設計されています。完全に自動化されたユニットは、1時間あたり数百万枚の画像を測定、検証、分析することができ、検査時間を短縮し、スループットを向上させます。統合ソリューションとして、G5はプロセス制御と精度を向上させながら運用コストを削減し、お客様が生産目標を達成できるようにします。G5を使用すると、ユーザーは提供される高度なアナリティクスの恩恵を受けることができ、欠陥のない高品質な製品の生産を支援し、指定された製品仕様内で提供されます。
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