中古 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G5 HP #9399576 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G5 HPマスク&ウェーハ検査装置は、幅広い材料およびプロセス層にわたるリソグラフィパターンを迅速かつ正確に検査および特性評価するための高性能、高スループットシステムです。このユニットは、高度なパターン認識機能やプログラマブルな画像解析ツールなど、チャンバーレス検査とフルフィールド検査の両方に包括的な機能を提供します。半導体製造において比類のない歩留まりにつながる欠陥、寸法変化、パターン非均一性など、さまざまなリソグラフィ問題を検出することができます。G5 HPは、いくつかの基本的なコンポーネントを含むモジュラーアーキテクチャに基づいています。機械の中心には強力な多目的CCDカメラがあります。このカメラは、1ミクロンまでの解像度で画像をキャプチャすることができ、光源変調をキャプチャすることができます。これは、変調伝達関数の効果的な範囲を生成するために使用されます。CCDカメラは温度制御カメラツールに内蔵され、PCと同期して資産をリアルタイムに制御できます。カメラに加えて、G5 HPは、極端な8:1光学ズーム、広い視野、および高コントラストで小さな機能を解決することができる高度なイメージング光学を備えた高度なモデルレベルの光学機器を利用しています。インタラクティブタッチスクリーンユーザーインターフェイスは、コンテキストヘルプと複数の言語のサポートを備えた高度な機能とツールの使いやすさを可能にします。また、ソフトウェアは高度であり、ウェーハとマスクパターンの識別、欠陥と寸法解析、およびリソグラフィックパターンの計測と特性評価のためのツールのフルセットを提供します。ソフトウェアは、標準スクリプトのライブラリだけでなく、カスタマイズツールで、顧客のニーズや要件に合わせて簡単にカスタマイズすることもできます。G5 HPは、堅牢な設計と実績のあるシステムエンジニアリングにより、生産環境で安定して信頼性が高いように設計されています。迅速な開発と導入のための直感的なカスタマーサポートマシンにより、ユニットの継続的な改善が強調されています。このツールは、AMATの有名なSemVision InspectとDataMatchのソフトウェアツールによってサポートされており、完全な制御とデータ解釈が可能です。この資産は、大量の高スループット生産アプリケーションに適しており、高いサンプリングレートと低コストのサンプルフットプリントで正確な結果を提供します。
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