中古 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 #9372771 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3
ID: 9372771
ウェーハサイズ: 12"
Defect review system, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3は、欠陥検出と補正を迅速に行うために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、ハードウェア、ソフトウェア、および処理能力を組み合わせて、正確なデバイスマスク画像の間違いをキャプチャ、分析、および修正します。AMAT SemVision G3のハードウェアは、いくつかのコンポーネントで構成されています。ファンデーションには、高解像度でインテリジェントなCCDカメラを駆動して画像をキャプチャする最先端のイメージングユニットがあり、1ミクロンの小さな特徴の可視化と分析が可能です。これは、正確なオートフォーカス用のリニアエンコーダを内蔵した繰り返しトリプルステージピラミッドセンシングマシンと組み合わされています。オブジェクト認識ツール(ORS)は、さまざまな高度なアルゴリズムを使用して、キャプチャされた画像をコントラストとシャープネスを高めて強化します。画像は、画像分析アセット(IAS)によって処理および分析されます。次に、G3はデータ処理とエラー認識にいくつかのソフトウェアモジュールを使用します。これには、セグメンテーションと分類(SCU)、エッジ検出(EDT)、パーティションアルゴリズムが含まれます。これらは、サイズ、形状、位置、方向などのさまざまな測定によって特徴付けられる欠陥を特定して検出するのに役立ちます。最後に、補正モデル(CORR)を使用して、データが指定された許容範囲内にあることを確認するために、要約結果を格納された標準と比較します。最後に、APPLIED MATERIALTS SemVision G3のモジュラーアーキテクチャは、さまざまな生産プロセスにわたって正確かつ一貫した結果を保証するさまざまな強力な処理能力を実現します。マスキングステップで発生するノイズを最小限に抑えながら、ICウェーハの高解像度画像を生成するマッチドリソグラフィーモジュールです。また、マスキングと検査プロセスを高速化するために、さまざまなコンポーネント間で高速なデータ交換を提供します。全体として、SemVision G3はマスクとウェーハの検査に非常に強力なツールです。高度な画像キャプチャ、高度な画像処理および解析アルゴリズム、強力なデータ管理機能を組み合わせて、デバイスマスキングプロセスのミスを最小限に抑えます。一貫して正確な結果を達成するための貴重な資産であることは間違いありません。
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