中古 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 Lite #9280960 を販売中
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販売された
ID: 9280960
Defect review system, 12"
Specifications:
± 0.05 mm (SEMI M28)
775 ± 25 um
Notched wafers
Carrier: (2) FOUPs 25wf, 12"
Interface: (2) FOUP (Continuous flow operation)
Supporting remote units
EBARA ES80 Dry and vacuum pumps
EPDU
UPS: 3 Phase, 208 V, 60 Hz
Vacuum block assembly
Fixed system configuration:
Wafer ID reader: Backside bar code wafer scribe reader
P I/O For OHT (Hokuyo): VERITYSEM AUTO5
Operator access switch: VERITYSEM AUTO8
Wafer mapping capable: Through beam mapper VERITYSEM-AUTO6
Optical FOV: Large optical FOV 100x um 20x and 2.5x
Communications protocol: SECS-II GEM+
HSMS 300 mm as VERITYSEM AUTO10, E84,E87,E90,E94 (TAR1.5)
Tilt capability: Tilt function NA
Contact hole profile grade: SECS capable output VERITYSEM-SYS2
Wafer stage: Anorad stage
Data back up: Monthly PM backup
EMO: One per side of main body and one on operator console
Interlocks: ETU Access panel
Signal tower:
Red / Yellow / Green / Blue:
Upper left of front and upper right section of loader on maintenance side
Installation requirements: CDA Bulk gas
(l/min) per SEMVision SSPS:
CDA Peak flow: 120
Ave flow: 16
LPOCs Req: 4
Electric supply: 120 V, Single phase, Peak flow: 1, 120 V
Water: (l/min) per SEMVision SSPS
PCW Peak flow: 75
Exclusive to G3
Stage: Z25 Oil, stage acceleration 1/4g, clean cables
Scan electronics: MEC
Computer: IP and WHC and MEC and EDX Computer
Power supply: HVPS, CDM
SEM Column: Column version NA
OM: DF/BD
Dry pumps not included
CE Marked
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3 Liteは、基板や回路パターンの正確な測定を行うように設計されたマスク&ウエハ検査装置です。このシステムは、既存の試験および計測システムと容易に統合できる、オープンでモジュラー型のプラットフォーム上に構築されています。高解像度のイメージングツールを搭載し、クリティカルな層を含むパターン構造の正確な画像を高解像度で取得し、正確な測定を可能にします。高速画像取得技術を搭載し、短時間で大面積の解析が可能です。また、高度な画像処理アルゴリズムを組み込んで、画像を強化し、欠陥を検出し、寸法や形状のより正確な測定を可能にします。このマシンには、取得した画像を分析するための強力なソフトウェアツールが付属しています。これらのツールを使用すると、測定データと参照データを比較し、設計の欠陥または欠陥を識別するために使用される特定の基準を検証することができます。また、ライン幅、最小幅、オーバーハング、直線性、エッジ粗さ、接触幅、エッチング深さ、直径、テーパ角など、さまざまなパラメータを正確かつ高分解能で測定できるさまざまな測定機能を備えています。さらに、トランスミッションとリフレクションイメージングの両方の機能が組み込まれているため、基板の複数の層の絶対寸法と寸法の正確な比較が容易になります。この資産は、SEMI M13規格などの業界標準にも準拠しており、既存の計測ツールと互換性があります。さらに、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えているため、ユーザーは迅速かつ効率的にモデルを設定して使用することができます。機器のすべての機能と機能は、Webベースのユーザーインターフェイスを介して制御することができます。AMAT SemVision G3 Liteは、マスクおよびウェーハ検査に最適なソリューションで、基板およびパターンの効率的かつ包括的な試験カバレッジをユーザーに提供します。このシステムは、最新の光学およびイメージング技術で設計されており、優れた画質と精度を確保するために堅牢な画像処理機能を活用しています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスとカスタマイズ可能な測定ルーチンにより、さまざまなアプリケーションに理想的な選択肢となり、ユーザーはスループットと製品品質を維持しながら時間を節約できます。
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