中古 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision G3 FIB #9375215 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision G3 FIBは、自動化された迅速かつ非破壊的な欠陥検出および解析を提供するように設計されたマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、焦点を当てたイオンビーム（FIB）を使用して、表面の下に埋められたフィーチャーにアクセスします。単位はウェーハおよびマスクに合わせられた電子ビーム相互作用の技術に基づいています。FIBは欠陥が疑われるサンプルの領域に向けられ、マシンはそれらを検出して特徴付けします。ビームはローカルサーフェスの断面にも役立ち、欠陥の内部ジオメトリを調べることができます。SEMは、傷、骨折、点欠陥、局所組成のばらつき、ミクロンスケール粒子など、表面および下面の欠陥を含む幅広い種類の欠陥を検出することができます。AMAT SemVision G3 FIBは、ツール制御を容易にするためのユーザーフレンドリーなインターフェイスで設計されています。このアセットには、サンプル実装ステージ、作業室ステージ、照射ステージなど、さまざまなステージが含まれています。また、大型サンプルチャンバーを備えた高度なイメージングモデルも備えています。画像取得および画像解析モジュールを使用して、欠陥の検出と解析を効率的に行うことができます。さらに、標準ファラデーカップ、CCDイメージングシステム、イオンエネルギー分光計とイオン逆散乱分光計の組み合わせなど、さまざまな放射線源をサポートしています。また、様々な地形、表面、およびインターフェースの特徴を分析する高度な画像再構築ユニットを備えています。このマシンの高速スキャン機能は、ビーム電流を正確に制御することと相まって、迅速かつ正確な欠陥検出と解析を可能にします。このツールのイメージング機能は、さまざまな角度やビューから高解像度の画像をキャプチャすることができます。これにより、プロセス制御および故障解析での使用に最適です。応用材料SemVision G3 FIBは、最小限の労力で迅速かつ正確な結果を提供できる強力な検査資産です。洗練されたイメージングモデルにより、サブサーフェスおよび表面レベルの欠陥の正確で信頼性の高い検出と特性評価が可能になります。ユーザーフレンドリーなインターフェイスとハードウェア機能により、使いやすく、高速スキャン機能により、非常に効率的な欠陥検出と解析が可能です。