中古 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX #9227401 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CXは、先進的な半導体デバイスの製造用に設計されたウェーハおよびマスク検査装置です。その主な焦点は、歩留まり抑制欠陥の防止を通じて、高収率の画像と最終的に高い収率を得ることです。このシステムは、粒子汚染、傷、チッピング、パターン偏差などの製造欠陥を検出することができます。このユニットは、デバイスからロジック回路まで、すべての製品カテゴリーにおいてパターン寸法精度の堅牢性を確保することにより、製品の品質と歩留まりを向上させるように設計されています。このマシンは、高度なデジタルイメージングマッピング技術を使用して、人間の目に見えない微妙な欠陥を検出します。このツールはまた、手動での介入を必要とせずに、不良マスクの自動エラー訂正と交換をサポートしています。このアセットには、粗いものから超微細なものまで、複数の検査解像度があり、さまざまなアプリケーションに優れたディテールと精度を提供します。このモデルはまた、銅、アルミニウム、フォトレジスト、タングステン、不透明な材料など、多くの標準および先進材料のための互換性のある検査の広い範囲をサポートしています。そのイメージング技術は、新世代の設計集約材料の検査に最適です。この装置は多層検査も可能で、ユーザーはデバイスのレイヤー全体を1つのパスでレビューすることができ、プロセス効率を大幅に向上させることができます。物理的には、AMAT SemVision CXはコンパクトで、5軸電動ステージ、手動ホイールモニター、およびテフロンベアリングを備えた0。25インチのクロマチックスチールフレームを備えた6インチXY基板ステージを備えています。これにより、生産中のデバイスの自動スキャンが可能になります。また、半接触光学装置を備えた先進的な光学パッケージ、高精度なイメージングオプティクス、入射光を照射するための高精度ウェハイメージスティグメータ、および自動欠陥検出用の先進的な無光イメージングマシンを備えています。要約すると、APPLIED MATERIALS SEM VISION CXは、不良マスクの自動エラー訂正と交換、新世代の設計集約材料の検査に適したイメージング技術、および高精度画像取得のための高度な光学パッケージを備えた高度なマスクおよびウェハ検査ツールです。この資産は、生産歩留まりと製品品質の向上に役立ち、最終的にはコスト削減とより効率的な生産プロセスにつながります。