中古 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX #111258 を販売中

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ID: 111258
ヴィンテージ: 1998
Automated SEM Review System, 8" Includes: - SEM resolution of 4nm at 1KV with SEM Perspective Imaging - High Resolution Color Optical Microscope - SEM 45 Degree Tilt and 360 Degree Rotation - Automated Review Flow - Two (2) 8" Cassette Stations - Interface to Inspection Tools (KLA, Tencor, Orbot) SEM Based ADC Package SEMV-OPT2. Integrated EDX Spectrometer Integrated Energy Dispersive X-Ray Spectrometer (Nitrogen Free Cooling) SEMV-OPT3 COMMUNICATIONS OPTION: SEC-II GEM Compatible Host Communication Software: SEMVision CX Unpatterned Wafer Review CX SEMVision API Retrofit SEMVision Cx Plus Beta Warehoused 1999 vintage.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALIES SemVision CXは完全に自動化されたマスクおよびウェーハ検査装置で、最も困難なアプリケーション要件に対して優れた画像キャプチャを提供します。高度な光学技術、センシング技術、イメージング技術を組み合わせ、高品質の最終製品を効率的かつ費用対効果の高い方法で提供します。AMAT SemVision CXは、マスクおよびウエハステージの検査中に、マイナーな位置ずれ、粗さ、傷、クリティカルな寸法精度、表面平坦性などの重要なパラメータが特定され、追跡されます。業界のどのシステムよりも高い検査速度と精度を提供するように設計されています。複数のウエハとマスクのタイプにわたって一貫した正確な検査結果を提供するように設計されています。各ウェーハまたはマスクの画像を数秒でキャプチャする高解像度カメラで構成されています。標準的な半導体ウェーハやマスクの検査や、シリコンオンインシュレーター、埋め込み層、3D ICを採用したマスクの検査に使用できます。アプライドマテリアルズSEM VISION CXには、異なるタイプのデバイス構造に最適化された2つの革新的な光学構成が組み込まれています。また、両面イメージングユニットを採用しており、前面と背面の両方の画像を同時にキャプチャして総合検査が可能です。また、高度なエッジ検出アルゴリズムを使用して、ウェーハまたはマスク上のフィーチャーのエッジを正確に検出します。APPLIED MATERIALTS SemVision CXは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えており、簡単なツールナビゲーションを実現し、視覚的診断と階層的なリストナビゲーションを提供します。このアセットには、データ転送用のUSBポートが装備されており、迅速で簡単なセットアップが可能です。AMAT/APPLIED MATERIALTS SEM VISION CXには、欠陥、粗さ、およびその他の欠陥の検査を含むデータ分析用のソフトウェアも搭載されています。また、最終製品精度を提供するために、表面粗さ、平坦度、および金型サイズを測定するために使用することができます。さらに、ウェハマッピング、パターン認識とトレーサビリティ、計測、欠陥分類を実行するためにこのモデルを使用することができます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS (AMAT) SEM VISION CXは、マスクおよびウェーハ検査機能を強化し、スループットの高速化と生産プロセスの効率化を実現します。これは、歩留まりを改善し、コストのかかる欠陥を減らすことができるため、絶えず変化する半導体のランドスケープでメーカーが競争力を維持するのに役立ちます。
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