中古 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX Plus #9227400 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX Plus
ID: 9227400
ウェーハサイズ: 8"
SEM Review station, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX Plusは、要求の厳しい半導体製造プロセス向けに設計された包括的で信頼性の高いマスクおよびウェハ検査装置です。CX Plusは、高分解能、高感度荷電デバイス(CCD)イメージセンサー、高解像度レーザーイルミネータ、マスクとウェーハの全面検査と測定を提供する高精度全視野(FOV)ステージなど、いくつかの高度な光学部品で構成されています。CX Plusのイメージセンサーは、最大12。2メガピクセルの極めて高い解像度を提供し、マスクまたはウェハの表面全体にわたる最小の機能の詳細な検査を可能にします。一方、ユニットの照明システムは、フィールド幅166 mmの10波長レーザーを使用しており、最大470万画素の同時検査が可能です。さらに、CX Plusの高度な光学技術は、規制やクリーンルームの検査環境でも、優れた画像キャプチャ、画像の鮮明性、画像ノイズの低減を保証します。CX Plusは、画像キャプチャに加えて全表面測定機能を提供し、0。07 μ mの解像度でマスクおよびウェーハ素子の迅速かつ正確な寸法測定を可能にします。これにより、不正確な製造による欠陥のリスクを最小限に抑え、全体的な生産効率を向上させることができます。さらに、オプティカルプロービングソフトウェアは、ナノメートルスケールの欠陥を自動的に検出し、すべての欠陥パターンまたはエラーが迅速かつ効率的に識別されるようにします。さらに使用を簡素化するために、CX Plusには自動検査と測定を可能にする強力なソフトウェアも付属しています。このソフトウェアは、ワークフロー全体を簡素化し、ユーザーが検査タスクに費やす時間を大幅に削減するのに役立ちます。さらに、このマシンのハードウェアおよびソフトウェア機能により、生産ラインへの容易な統合が可能になり、オペレータが報告および分析できる継続的な検査およびデータ収集が可能になります。全体として、AMAT SemVision CX Plusは、半導体生産プロセスの要求を超えるように構築された、高度で信頼性の高い高精度なマスクおよびウェーハ検査ツールです。最先端の光学技術、全面検査、堅牢な測定機能、包括的なソフトウェアスイートを組み合わせたCX Plusは、要求の厳しいリソグラフィ、ナノメータスケールの製造、およびその他のマイクロエレクトロニクス製造業務に最適です。
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