中古 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX DR-300 #9280347 を販売中
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販売された
ID: 9280347
ウェーハサイズ: 12"
Defect review system, 12"
Wafer shape: Notch
Electron optical system:
Accelerating voltage: 150 V - 15,000 V
Probe current: 10 pA - 1.2 pA
SEM Resolution: 4 nm at 1 kV
Magnification: 200x - 200,000x
Maximum pixel: 1440
Multi perspective SEM imaging
VC model
Optical microscope system:
Bright light microscope
Dark field microscope
Optical microscope: 5x / 20x / 100x
SECS / GEM Communication interface:
Defect file format
Output file format
Host communication (SECS II / GEM /HSMS)
Wafer stage:
Stage accuracy: ±1.5 um
Unique die to die
Automatic defect review
Automatic defect classification
Automatic process inspection
No E-Chuck stage
Anti charge
Peripheral:
Port type 1 and 2: OCLP
With EDX
Tilt and rotation
Remote work station
Resolution target: Regular
Signal tower: Standard
EPDU
No FIB.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX DR-300は、洗練されたマスク&ウエハ検査装置です。このデバイスは、高解像度、サブミクロンイメージング、検出機能を提供する最先端の光学技術と画像処理技術を備えています。DR-300には独自のスキャンプラットフォームがあり、32nm以下のノードでも一貫して高い信号対ノイズ比を提供します。角度付きの照明システムを備えており、軸外イメージングとマルチビームを可能にし、感度とスループットを向上させます。さらに、DR-300は、これまで以上に高速かつ精度の高い構造を分析できる比類のない高速クリティカル寸法イメージングを提供します。CX DR-300は、さまざまなイメージング機能をサポートしています。ダイレクトビームイメージング(DBI)は、反射や収差の影響を軽減し、散乱角度の狭いサンプルや高さの大きいサンプルなどにシャープな画像を与える独自の技術です。さらに、軸外の照明角度とマルチビームイメージングを備えています。マルチビームイメージングは、反射によるコントラストに依存しないため、ダークフィールドイメージングとスルーフォーカスイメージングの高度な組み合わせであり、非常に精度の高い超薄い金属構造のイメージングを可能にします。最後に、CX DR-300は、2Dおよび3D画像の再構築、自動欠陥分類、強化された自動分類機能、および自動ビアサイズ測定のためのイメージングにより、包括的な欠陥検査機能を提供します。インテリジェントな欠陥レビュー機能を内蔵しており、レビューイメージの簡単なレビューを可能にし、さらに問い合わせやレビューの推奨を提供します。これらの機能を組み合わせることで、AMAT SemVision CX DR-300、信頼性と正確なイメージングが不可欠なあらゆる業界向けの優れたマスクおよびウェーハ検査システムとなります。最高レベルの性能と測定精度を保証し、最高レベルの品質保証を実現します。この機器は、効率的で信頼性の高い検査プロセスを確保するために探しているすべてのメーカーにとって必須のものです。
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