中古 AMAT / APPLIED MATERIALS SemVision CX DR-300 #9159930 を販売中
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販売された
ID: 9159930
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 2001
Automated defect review metrology system, 8"-12"
Wafer shape: Notch
Wafer handling:
Loader: SMIF / OCLP / AOD
FFU With ULPA filter
SEM / EDX Column
Tilt: 45 Deg column
Stage wafer holder 3 PIN
ETU 8" / 12"
ITU 8" / 12"
Aligner
Electron optical system:
Acceleration voltage: 150V - 15000V
Probe current: 10pA - 1.2nA
SEM Resolution: 4nm @1KV
Magnification: x200 - x200000
Maximum pixel: 1440
Multi perspective SEM imaging (MPSI)
VC Model (voltage contrast)
Optical microscope system:
Bright light / Dark field microscope
Objectives: 5x, 20x and 100x
SECS / GEM Communication interface:
Defect file format: Functionality confirmed to KLARF
Output file format: Same as input format
Host communication (SECS II / GEM /HSMS)
Wafer stage:
Stage accuracy: ±1.5um
Unique die-to-die
Single image automatic defect review (ADR)
Automatic defect classification (ADC)
Un-pattern review
Automatic process inspection (API)
E-Chuck stage: No (Pins stage)
Anti charge-3 (E-SEM)
Peripherals :
Port 1 / Port 2 type: OCLP
EDX
Tilt and rotation
Remote work station
Resolution target: Regular
Signal tower: Standard
EPDU
FIB: No
Facility:
Largest load ampere rating: 8 A
Full load current: 10 A
Interrupt current: 10,000 Amps I. C.
Supply voltage: 1-120 VAC, 1 Phase, 3-Wires
Power requirements: 208 V, 3 Phase, 5-Wires, 50/60 Hz
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SemVision CX DR-300は、半導体生産のために製造されたマスクおよびウェーハの高精度な検査を行うために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、最大直径8インチ（200mm）のウェーハサイズとフィーチャーサイズの範囲をイメージングおよび分析することができます。これは、比類のない解像度と速度を提供する独自のマルチスペクトルイメージング（MSI）技術に基づいています。AMAT SemVision CX DR-300は、半導体マスクとウェーハを迅速かつ正確に検査するように設計された完全自動化ユニットです。これは、スキャンウェーハの高解像度画像をキャプチャすることができる特許取得済みのマルチスペクトルイメージング技術を利用しています。この技術は、発光ダイオード（LED）と有機発光ダイオード（OLED）の照明源を組み合わせて、特定のアプリケーションに最適化されたイメージングパターンを生成することによって機能します。このマシンには、位相シフト欠陥解析や欠陥マーキング機能など、欠陥を迅速かつ正確に検出および識別するためのさまざまなソフトウェアおよび分析ツールも装備されています。このツールの画像キャプチャ機能と欠陥検出機能を組み合わせることで、マスクおよびウェハ製造工程で発生した欠陥や損傷を迅速かつ正確に特定し、報告することができます。さらに、この資産は、将来のドキュメントとレビューのための検査結果を収集して保存することができます。APPLIED MATERIALTS SemVision CX DR-300は、さまざまな画像ナビゲーションおよび検査ツールを備えており、画像の位置、パン、ズーム、回転、およびフィーチャーのサイズと向きの測定を簡単に行うことができます。これにより、すべての欠陥が迅速かつ正確に識別され、文書化されます。また、マスクパターニング検査も可能で、画像パターンの精度や傾きを素早く正確に測定することができます。全体として、SemVision CX DR-300は高度なマスクおよびウェーハ検査装置です。Multi-Spectral Imagingテクノロジーは、一連の可視化および分析ツールと組み合わせることで、マスクやウェーハの欠陥を迅速かつ正確に特定して報告することができます。さらに、モジュール設計により、生産ニーズの増加に対応するために容易に拡張することができます。
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