中古 AMAT / APPLIED MATERIALS SEM G5 MAX #293647406 を販売中
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販売された
ID: 293647406
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2011
Defect review system, 12"
Active damping subsystem
Load lock
G5 Main chamber
PFU Unit / Line conditioner
X-Y Stage and motion controller, 12"
BROOKS AUTOMATION ETU True beam mapper
E-Chuck wafer holder and controller
Factory Interface: SMIF
Missing parts:
PAL Analog board
HVPS
ITU Distribution board
VAC Distribution board
Scintillator blade
PAL Digital board
CCS Board
CVC Board
ITU Controller
ITU Driver
OM Module
DMD Sensor
LFS
OM P.S
IPU
ETU Controller
2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS SEM G5 MAXは、ディープサブ分解能測定機能とフィーチャーサイズの非破壊解析を提供する高精度マスクおよびウェハ検査装置です。このシステムは、最高精度のアプリケーションを処理するように設計されており、お客様は業界標準を満たす結果を達成することができます。AMAT SEM G5 MAXは、半導体基板、マスク、フォトマスクの特徴を他の検査技術では検出困難な欠陥で測定するために、走査型電子顕微鏡(SEM)を使用しています。最先端の設計により、0。01 µmのサンプルを高精度で測定できるため、90nm以下の解像度を求めるお客様に適しています。優れた精度でマスクやウェーハ表面の欠陥検査を可能にし、検出が困難な欠陥の早期発見・修復を可能にします。この機械の電子光学系と自動化された測定は、時間を短縮し、大量検査のコストを削減するのに役立ちます。その高分解能機能は精密な解析を提供し、非破壊解析は大量の試験アプリケーションに最適です。G5 MAXには、可変スポットサイズ、可変電流、可変ステージなどの複数の検査モードが含まれているため、小さな機能で正確かつ正確な検査が可能です。APPLIED MATERIALS SEM G5 MAXには、その機能に加えて、強力でユーザーフレンドリーな操作ツールが装備されています。これには組み込みのエディタが含まれており、ユーザーは必要に応じて設定をカスタマイズして構成できます。また、高度な測定ツールを使用してデータに素早く簡単にアクセスできます。このソフトウェアには、複数のファイル形式のサポートも含まれており、お客様は検査データを簡単に保存および分析することができます。全体として、SEM G5 MAXは、最も要求の厳しい測定要件を満たすように設計された効果的で信頼性の高いマスクおよびウェーハ検査資産です。サブミクロメーターの解像度で大きな機能サイズを扱うことができるため、精密で正確な検査をお探しのお客様に最適です。また、大量のニーズを抱えるお客様には、ユーザーフレンドリーで費用対効果の高いモデルを提供します。
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