中古 AMAT / APPLIED MATERIALS / ORBOT WF 736 XS #9011672 を販売中

ID: 9011672
Patterned wafer inspection system, 8" 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/ORBOT WF 736 XSは、エンジニアに高性能の欠陥検出と詳細な分析を提供するように設計された自動マスクおよびウェーハ検査装置です。電子顕微鏡(SEM)、共焦点顕微鏡、蛍光イメージングなどの非破壊画像技術を組み合わせて、半導体製造プロセスにおけるウェーハやマスク表面の問題を迅速に検出します。AMAT WF 736 XSは、ウェーハとマスクの両方の欠陥を効率的に検出できる高度な機能を多数備えています。このユニットは、画像認識アルゴリズムを使用して、潜在的な欠陥の形状、特徴、およびその他の特性を識別し、それらを分類して表面上の位置を検出するために自動車グレードのAIが使用されます。さらに、高精度の対物レンズを備えたピクセル精度のモルフォメトリック欠陥認識機は、エンジニアが最小の欠陥でも問題を特定して診断するのに役立ちます。5nmの空間分解能を持つ高感度の光学ツールを搭載しているため、微細な形状や微細構造の輪郭を検出することができます。この資産には、最大15 x 15 cmの広い領域の欠陥を正確に検出して測定できる自動スキャン機構もあります。ORBOT WF 736XSは、スマートウェーハインデックス機能も備えており、モデルを再校正することなく複数のウェーハを検査することができます。さらに、この装置はエンジニアに柔軟に調整可能なコントラストと局所コントラストの強化を提供し、より良い欠陥認識を提供します。また、輪郭解析、光学近接補正、画像分類、3D欠陥再構築など、さまざまな欠陥解析ツールを使用しています。さらに、拡大表示や3Dモードなど、さまざまな可視化モードを使用すると、さまざまな方法で欠陥を表示できます。全体として、AMAT WF 736XSは高度な自動マスクおよびウェーハ検査システムであり、欠陥を極端な精度で検出および分析するように設計されています。さまざまなイメージング技術、高精度な光学システム、高度な欠陥認識アルゴリズム、複数の可視化モードを採用することで、エンジニアが欠陥を迅速かつ正確に識別し、最適な結果を得ることができます。
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