中古 AMAT / APPLIED MATERIALS G3 #9399902 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS G3
ID: 9399902
ヴィンテージ: 2011
Defect review system 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS G3マスク&ウェーハ検査装置は、革新的な光学系イメージングシステムです。半導体デバイス製造時のマスクやウェーハの詳細なイメージングを提供するように設計されています。AMAT G3ユニットの中核には、革新的なレンズとフィルターを組み合わせたAMAT Micro-Electronics Solutions (AMMES)光学プラットフォームがあります。これは、干渉フィルタとフィールドに依存する減衰器と組み合わせて、位相シフト光学素子の配列を使用することによって達成されます。また、デジタルイメージキャプチャ技術を利用して、マスクとウェーハの両方の非常に詳細なデジタル画像を1秒あたり最大5,000フレームで取得することができます。APPLIED MATERIALTS G3マスク&ウェーハ検査ツールは、2つの角度(90°および180°)にシングルイメージおよびフルフィールド検査を行うことができ、最大128の異なるフォトメトリパラメータをキャプチャできます。ウェーハ上の汚染、欠陥、回折パターン、および非均一性を分離する自動欠陥分類機能を備えています。さらに、このアセットは強力な自動キャリブレーションツールを提供しており、フォーカスと照明の両方の設定を自動的に調整して画質を最適化することができます。G3モデルは高度なマスクパターンマッチングアルゴリズムを採用しており、マニュアルマッチングが不要です。この機能により、亀裂、ピンホール、変形トランジスタ、および関連する問題を含むさまざまな欠陥を識別、検出、分離することができます。また、ウェーハ内の汚れ、汚染、ピンホールなどの表面異常を検出することができます。様々なテストパターンに対応しており、スピードと精度で重要な測定を行うことができます。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)により、AMAT/APPLIED MATERIALS G3機器の簡単なセットアップと操作が可能です。タッチスクリーン操作により、ユーザーはシステムをすばやく変更できますが、高度なイメージングと分析オプションにより、ユーザーはデータを包括的に表示できます。また、アラーム通知と欠陥トレンドトラッキングを提供し、ラインのダウンタイムを削減し、歩留まりを改善し、効率を向上させます。AMAT G3マスク&ウェーハ検査機は、半導体デバイス製造工程において高収率とスループットで高品質な製品を保証するための信頼性と効率性の高いソリューションです。操作は簡単で、不具合を積極的に監視して特定するために必要なツールをユーザーに提供します。
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