中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Excite #293592128 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS Exciteは、検査精度を高めるとともに、歩留まり劣化パターンをこれまで以上に迅速に特定できるように設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。半導体リソグラフィ用途で使用される最適化された光学試験および検査ツールです。このシステムは、電子ビームマルチプレクサ(EM)を使用して、従来のスキャン対応技術と比較して、より低コストで高速な検査速度を実現します。高コントラストイメージングユニットは、従来の技術では解決されていなかった潜在的な欠陥を識別するために、ダイレベルパターンをキャプチャすることができます。この機械の設計により、複雑な粒子画像の迅速な解釈が可能になり、従来の技術と比較してスループットとコスト削減が向上します。さらに、このツールには、ユーザーにとって非常に貴重なインターフェースと、画像取得、検索、表示、分析のための直感的な機能が含まれています。これにより、複雑な複数層パターンを評価し、ダイレベルパターンを特定するのに効果的です。AMAT Exciteは、さまざまなサードパーティのデータ管理、分析、レポート作成ソフトウェアパッケージと統合されているため、ユーザーがデータを迅速かつ正確に管理できるようになります。EMツールは、4つの視野画像(FoV)の配列から大きな粒子を検出することができ、欠陥検査のためのより大きな領域を提供し、発見された欠陥を徹底的に識別することができます。要約すると、APPLIED MATERIALSエキサイトマスクおよびウェハ検査モデルは、従来のスキャンベースの技術と比較してコスト効率を犠牲にすることなく、信頼性の高い効率的な検査機能を提供します。この機器は、よりコントラストの高い画像、直感的なユーザーインターフェイス、およびリモートおよびサードパーティのソフトウェア統合を迅速に取得できます。このシステムを使用すると、歩留まりの低下を引き起こす可能性のある欠陥を迅速かつ正確に特定できます。
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