中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Complus MP #293704418 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
AMAT/APPLIED MATERIALS Complus MPは、フォトマスクやウェーハの高速・高精度検査を実現するマスクおよびウェーハ検査装置です。高度な光学システム、高解像度デジタルイメージセンサー、自動化されたプロセスモニタリング機能により、ウェハメーカーは最高レベルの欠陥検出と分類を達成できます。AMAT Complus MPユニットは、スキャン機、ドライバーエレクトロニクス、光学ツール、イメージセンサー、ソフトウェアで構成されています。スキャンアセットは高精度のステージとドライブモデルで構成されています。3軸走査モードと6軸走査モードの両方でウェーハ全体を素早くスキャンすることができます。ドライバーエレクトロニクスはステージドライブからの電気信号を処理し、ウェーハ上の特徴を正確に見つけて測定します。APPLIED MATERIALS Complus MPユニットの光学系には、テレセントリックレンズを含む複数のレンズ要素が含まれています。このデザインは、レンズを通過するすべての光が等しい強度を持っていることを保証し、レンズの歪みを排除するのに役立ちます。高解像度デジタルイメージセンサーと組み合わせることで、優れたイメージングおよび欠陥検出機能を実現します。また、このマシンには一連のプロセス監視機能があり、ウェーハメーカーはプロセスが効率的で業界標準に準拠していることを確認できます。このツールは、オーバーレイパフォーマンス、オーバーレイエラー、画質、およびその他のプロセスメトリックをリアルタイムで自動的に追跡できます。また、形状、サイズ、位置などの欠陥に関する詳細なレポートも提供しており、欠陥の根本原因を特定するのに役立ちます。全体として、Complus MPアセットは、高度な独自の光学およびイメージング技術と自動化されたプロセスモニタリングを組み合わせ、優れた欠陥検出および分類機能をメーカーに提供する、信頼性の高いマスクおよびウェハ検査モデルです。高速スキャンと画像解像度により、スループットが向上し、サイクル時間が短縮されます。そのプロセスモニタリング機能により、ウェーハプロセスに準拠した効率的な機能と、詳細な欠陥追跡およびレポート機能により、欠陥の根本原因を特定できます。そのため、AMAT/APPLIED MATERIALS Complus MP装置は、高精度検査機能を必要とするあらゆるウェハ製造作業に最適です。
まだレビューはありません