中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Compass #9378318 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Compass
ID: 9378318
ヴィンテージ: 2001
Wafer inspection system 2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS COMPASSは、半導体および太陽光発電産業のために設計されたマスク&ウェハ検査装置です。視野全体にわたって完全なダイツダイ検査を提供し、生産性を損なうことなく欠陥データを迅速かつ正確に取得できます。このシステムは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスとクイックマスク適応ウィザード(QMA)を使用して、さまざまなウェハサイズとフォーマットにすばやく適応できます。統合された光学系は、非常に微細な解像度で正確な欠陥検出を提供する独自のテレセントリック偏光ユニットを備えた90度の光場視野(FOV)を提供します。AMATコンパスマシンには、高密度粒子検出、パターン検索、オーバーレイなどの高度な欠陥検出機能、およびパターン拡張機能も搭載されています。このツールには、統合された独自の欠陥分類エンジンが含まれています。この欠陥分類エンジンは、業界標準を容易に上回る0。0005インチまで欠陥を検出し分類することができます。また、リアルタイムイベントモニタリングとレポート機能を備え、機能を分析および最適化します。このモデルは、包括的な欠陥マップとレポートの要約を提供し、オペレータが迅速に問題を特定して修正できるようにします。アプライドマテリアルズ1。5 umの解像度と0。1 umの正方形FOVまでのフルパターンマッピングで、1時間あたり最大10,000ウェーハを処理します。高度なパターン認識ツールにより、高速な欠陥特性評価が可能です。作り付けの画像解析ツールは、迅速かつ正確なパターン認識を可能にします。さらに、超低ノイズと高度なコントラスト制御により、コンパスは最小粒子を正確に検出することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Compassは、ダイナミックなフォーカスと高度なアライメントと位置を備えた正確で迅速な登録を備えています。自動化された欠陥マッピングと割り当てにより、機器は低レベルの欠陥を識別し、欠陥密度、欠陥領域、欠陥位置に関する詳細なデータを提供します。全体として、AMAT Compassは高度なマスク&ウェーハ検査システムであり、優れたスループットで微細な精度を提供し、半導体および太陽光発電メーカーが歩留まりを増やし、生産コストを削減し、収益を改善することができます。
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